中古 ULVAC Ceraus Z-1301 #9053700 を販売中

ULVAC Ceraus Z-1301は、薄膜の超高精度成膜用に設計された次世代スパッタ装置です。3つの独立したRF/DC/DCスパッタリングソースを組み込んだ洗練されたスパッタリングプロセスが特徴で、広範囲にわたって蒸着速度と均一性を正確に制御できます。3つのスパッタリング源には強力なパルスDC （PDC）ソースが搭載されており、スパッタリング電力と電流を正確に制御できます。汎用性の高いCeraus Z-1301は、絶縁膜、金属、および複合材料を幅広い圧力、温度、スパッタリング能力にわたって堆積することができます。ULVAC Ceraus Z-1301には、大判サンプルホルダーやロードロックシステムなどの高度な機能が搭載されています。このユニットには電動スパッタリング距離部品も含まれており、基板ターゲット距離が最大の蒸着効率に最適化されています。Ceraus Z-1301は、リアルタイムデータ取得・モニタリングマシンを搭載し、蒸着速度、均一性、基板のたわみなどのライブ情報を提供します。ULVAC Ceraus Z-1301は、レシピのセットアップからフィルム監視まで、ユーザーフレンドリーな操作を提供します。標準的なスパッタ蒸着プロセスや、反応性や高出力の蒸着などの特殊なプロセスを実行することができます。Ceraus Z-1301は、金属-絶縁体-金属（MIM）成膜から受動層作成、精密光学部品コーティングまで、さまざまな薄膜成膜作業に適したツールです。さらに、内蔵の安全機能、高度なプロセス制御、優れた信頼性により、スパッタ蒸着に最適なULVAC Ceraus Z-1301が際立っています。それは大きい区域に均一な沈殿を用いる良質のフィルムを作り出すことができます、最も厳密な沈殿の条件を満たします。ULVAC Pulsed DCソースを搭載したCeraus Z-1301は、電気・光学部品からバイオメディカルセンサまで、幅広い業界の薄膜成膜アプリケーションに、堅牢で信頼性の高いプラットフォームを提供します。