中古 ULVAC Ceraus Z-1101 #293625450 を販売中

ULVAC Ceraus Z-1101は、複数の産業および研究アプリケーションで高精度、高信頼性の結果を提供することができるスパッタ装置です。このシステムは、パワフルなスパッタリングチャンバーを備えており、スパッタリングソースと11 「x11」ワーキングエリアが内蔵されています。ガラス、プラスチック、金属など様々な基板に様々なナノ粒子を堆積させることができます。その部屋は純粋な、オーステナイトのステンレス鋼のために造られ、スパッタリング源から熱的に分けられます。これにより、高精度の結果が保証され、サンプルの熱脱着が防止されます。Ceraus Z-1101は、RFベースのスパッタリングソースを使用して、材料を基板に堆積させます。ソースは最大3kWの電力で提供され、堆積膜の様々な厚さを得るためにプログラムすることができます。これは、Ar、 O2、 O+N2、 CO+Arなどの幅広いプラズマ生成ガスとガス混合物を備えた高強度プラズマ放電を提供します。さらに、3電極機を搭載し、基板とスパッタリング源を独立して操作し、正確に制御することができます。これらの機能により、さまざまな厚さと組成の材料を分解することができるため、幅広いプロセスとアプリケーションが可能になります。ULVAC Ceraus Z-1101は、フィードスルーハウジングを備えたプロセスチャンバーを備えており、真空中のサンプルのロードとアンロードを可能にします。さらに、汚染を防ぐためにアセットのシャッターを注文することができ、チャンバーは最大40 Mbarの真空の大気下で動作することができます。さらに、すべてのプロセスパラメータとアクティビティはセットアップコントロールソフトウェアによって監視され、信頼性が高く、繰り返し可能で一貫した結果が得られます。全体として、Ceraus Z-1101は、自動車および医療機器のコーティングからラボ・オン・チップ装置のナノクラスター蒸着まで、さまざまな産業および研究用途に適した強力で高精度なスパッタリングモデルです。利用可能なさまざまな構成により、柔軟でユーザー定義の要件を満たすことができ、信頼性の高い反復可能な結果により、最も要求の厳しいプロジェクトに最適です。