中古 TRIKON / ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200 #293655335 を販売中

TRIKON/ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200は、幅広い基板上の薄膜成膜用に設計された、汎用性と信頼性の高いスパッタリング装置です。半導体デバイス、フラットパネルディスプレイ、その他の電子部品の製造に最適です。このシステムは、材料組成の可能性の範囲と高品質の均一な薄膜を生成することができます。それはタンデムでまたは別に使用することができる3つの独立したマグネトロンスパッタリングヘッドおよび真空室を含んでいます。ロバストなイオンソースは、プリスパッタリング環境を制御し、プロセスの最適化により望ましい基板フィーチャーサイズを実現します。このユニットは、薄膜スパッタ調整と均一制御を自動化する高度なコントローラ制御を備えています。スパッタリングプロセスを正確に制御できるように、幅広いプロセスパラメータを調整できます。プロセスの状態は、堆積の概要を提供し、任意の変更を簡単に行うことができますグラフィックユーザーインターフェイスを介して監視されます。このMS4200には、基板回転の可変速度やすべてのターゲットの調整可能な冷却など、さまざまな追加機能が装備されており、均一性と精度をさらに向上させます。チャンバー内のさまざまな作業領域を個別に加熱することで、機械で可能なアプリケーションの数を最大化できます。ゼロメンテナンス機能と優れた安全機能を使用することで、MS4200は研究開発ラボに適した費用対効果の高いユーザーフレンドリーな薄膜成膜ツールとなります。これは、様々な用途のための材料の広い範囲のスパッタリング堆積の信頼性と一貫した手段を提供します。