中古 TRIKON / ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200 #293655332 を販売中
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TRIKON/ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200は、精密薄膜成膜用に設計された多目的スパッタリング装置です。このシステムは、優れた均一性と薄膜均質性を提供するために、簡単に調整可能な回転式ツインターゲットシールドを備えています。このMS4200はまた、スパッタリングターゲットに供給される電力を正確に制御するための高効率で可変的な電源を備えています。可変電源により、ターゲットのフラックスとシース電圧を調整できます。また、スパッタリング率を高めるための平面単結晶ターゲット設計もあります。このMS4200には、150°C〜450°Cの温度範囲のユニフォーム基板ヒーターがあり、持続的なコンディショニングとフィルム脱水を実現しています。この機能により、幅広い基板サイズと厚さにわたって均一な堆積が保証されます。ヒーターはまた、大きなウエハ径の範囲にわたって高温の均一性と安定性を提供します。MS4200には、調整可能なガス流量、圧力、およびスコープを備えたフル機能のガス管理ユニットもあります。また、RFジェネレータと追加の柔軟性のためのオプションのプロセス制御を備えています。発電機は最適のフィルムの均等性および付着を保障するためにRFの脈拍幅の調節を可能にします。最後に、MS4200は真空機で供給され、プロセスの均一性とチャンバーの密閉性を維持します。全体的に、TRIKON PLASMAFAB MS4200は、優れた密度、均質性、均一性を有する薄膜の堆積に最適です。このツールの多機能機能は、薄膜堆積目標を達成するために必要な柔軟性と性能をユーザーに提供します。
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