中古 TRIKON / ELECTROTECH MS 6210 #178693 を販売中

TRIKON/ELECTROTECH MS 6210は、様々な材料の薄膜を様々な基板に堆積させるために設計された非常に複雑なスパッタリング装置です。システムは、超高真空チャンバー、コントローラ、電源で構成されています。チャンバーは、ターボポンプ速度が毎秒3。2リットルの1。33 x 10-6 Paまでの真空を維持するように設計されています。コントローラは電源に接続されているため、スパッタリングプロセスを正確に制御できます。ユニットのチャンバーは円筒形で、トップマウントのチャンバフランジとトップマウントのドレンポートが装備されています。チャンバーフランジは3つのアームと円錐形のポートで設計されており、基板の容易な積み下ろしを可能にします。また、2つのボトムマウント窒素ガスポートと2つのトップマウントガスインレットがあり、機械内の活性ガスの流れを正確に制御できます。部屋は4つの熱電ヒーターによって加熱され、基板の加熱された表面の均一なカバレッジを可能にします。真空ツールは、2つのターボ分子ポンプ、さまざまな真空ゲージ、およびチャンバの真空パラメータを正確に監視するためのイオンゲージで構成されています。このアセットには、スパッタフィルムの汚染を最小限に抑えるために、汚染防止シャッターと粗いバルブも装備されています。このモデルの電源は、電圧や電流の変化に関係なく、スパッタリング源に安定した均一な電源を供給することができます。独立した電圧と電流制御を備えた3つの制御チャネルがあり、電源とスパッタレートを正確に調整できます。コントローラは電源に接続されており、デューティサイクル、スパッタレート、ターゲット材料などのスパッタ手順のパラメータを正確に制御できます。TRIKON MS 6210スパッタリング装置は、非常に高い均一性と表面の滑らかさで膜を生成することができます。また、ガラス、ステンレス、シリコンなどの各種基板にも接着性に優れ、光学特性に優れています。このシステムは使いやすく、スパッタリングプロセスを正確に制御します。