中古 TRIKON / ELECTROTECH Delta 201 #293621505 を販売中

TRIKON/ELECTROTECH Delta 201は、各種基板上に薄膜を堆積させるために開発された高性能スパッタリング装置です。このシステムは、シングルソース、マルチチャンバー、オープンフレームスパッタリングユニットであり、幅広いプロセスパラメータを可能にし、研究および産業用の両方で要求の厳しいアプリケーションに最適です。TRIKON Delta 201は、負荷/アンロードチャンバー、大きなメインチャンバー、小さなチャンバーなど、スパッターコーティング用の5つのチャンバーを提供しています。チャンバーは電子的および空気圧的に隔離されており、真空範囲は0。5〜1。0 mTorrです。機械は高い沈殿の均等性を提供します。調節可能なクライオおよび暖房のアンカーは基質の温度が正確に制御されるようにします。ELECTROTECH Delta 201は、直径8インチ、厚さ4インチまでの金属、セラミックス、メガネ、ウェハなど、さまざまな基板に対応できます。このツールは、フラットで乾燥したプラテンを備えており、リニア、ロータリー、またはラボの手動転送ローディングオプションのいずれかを選択できます。調節可能なエンドゾーンの高さと柔軟なYゾーン範囲により、さまざまな基板のプロセスパラメータを微調整できます。Delta 201には、直感的なインターフェイスとユーザーフレンドリーなナビゲーションを備えたTRIKON特許取得済みの「TDC-200」成膜コントローラが装備されています。このコントローラは、すべてのプロセスパラメータとレシピに簡単にアクセスでき、5つのスパッタリングチャンバーすべてを同時に制御できます。コントローラはRFチョークと多種多様なプロセス監視機能を備えています。TRIKON/ELECTROTECH Delta 201のスパッタリング機能は、2番目に優れています。ELECTROTECHの特許取得済みの不活性ガスシャワー「Icarus」を搭載し、スパッタリング効率を高め、幅広いスパッタリングプロセスを実現しています。Lift- off™ターゲット構成は、均一なスパッタリング、優れた材料使用率、および非常に制御可能な膜厚プロファイルを提供します。全体として、TRIKON Delta 201スパッタリングアセットは、高度で汎用性の高い堆積モデルです。プロセスパラメータを高精度に制御し、優れた均一性と再現性を提供します。この装置は、優れた材料使用率と制御可能な膜厚プロファイルにより、幅広いスパッタリングプロセスを実行することができ、さまざまなアプリケーションに適しています。