中古 TORR CRC-150 #73201 を販売中

TORR CRC-150スパッタリング装置は、研究および産業用途向けに特別に設計された高性能スパッタコーターです。それは多数のプロセス適用の条件に適している信頼でき、堅牢な沈殿の性能を提供します。この汎用性の高いスパッタコーターを使用して、幅広い基板サイズや形状の材料を幅広く堆積することができます。CRC-150は、さまざまな金属、酸化物、窒化物、および合金を幅広いプロセス構成で扱うことができます。TORR CRC-150は、高速で信頼性の高いウェーハ互換性を目指して設計されています。これは、ロボットウェーハ検索システムで簡単にウェーハのロードを提供しています。このユニットは、1回のパス操作で複数のウェーハを処理し、一貫した結果を提供することができます。また、標準的な均一な層の堆積、ステップ層の堆積、深いテーパーエッチプロセスなど、いくつかの蒸着モードがあります。CRC-150スパッタリングマシンには、高出力リモートプラズマソース（RPS）と高度なスパッタリングプロセスが装備されています。このツールは、ウェーハ表面面積全体にわたって優れた均一性と膜厚を有する高品質のコーティング層を生成することができます。このアセットは、プロセスチャンバ圧力、ガス流量、DCおよびショートパルスバイアス、およびターゲットスパッタレートなど、制御するための幅広いパラメータを提供します。TORR CRC-150の堅牢な設計と頑丈な構造により、優れた接着特性を持つ金属およびセラミックフィルムを製造することができます。このモデルは高度な自動プロセス制御（APC）を備えており、蒸着速度、厚さ、およびその他の蒸着パラメータの厳密な均一性と再現性を生産することができます。APC装置は、変化する条件に対応するために、生産中に自動的にターゲットパラメータを変更することができます。CRC-150は、処理中にシステムのパフォーマンスを監視し、それに応じて処理パラメータを調整するフィードバックを提供するリアルタイムモニターも装備されています。このユニットはまた、スパッタリングプロセスのパラメータを設定して表示するために使用することができるタッチスクリーンコントロールインターフェイスを提供しています。TORR CRC-150は、幅広い用途に適した薄膜を精密に成膜するために設計されています。それは良質、安定したおよび均等性の薄膜の層の生産にとって理想的です。この費用対効果が高く効率的なスパッタコーターマシンは、実行時の変動を最小限に抑えながら、正確な蒸着とプロセス制御を提供します。