中古 TEAM TECHNIK ITO #293636225 を販売中

TEAM TECHNIK ITO
ID: 293636225
ウェーハサイズ: 4"-6"
In-line sputtering system, 4"-6".
TEAM TECHNIK ITOは、研究者が極めて精度が高く再現性の高い高度な薄膜コーティングおよび機能構造を開発できるスパッタリングシステムです。このシステムは、RF電源、プロセスチャンバー、制御ユニットなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。RF電源は、薄膜コーティングおよび機能構造の作成に必要なエネルギーを供給します。この電源は、10kHz〜60MHzのプログラム可能な周波数範囲を持ち、異なるレベルの出力に調整することができます。これにより、薄膜コーティングと機能構造を異なる厚さ、表面仕上げ、および接着特性で作成することができます。プロセスチャンバーは、急速なガス流量フラッシュ機能により、最高の性能と効率を実現するように設計されています。セラミック、スチール、ポリイミドなど様々な基材を加工するためのステンレス製のチャンバーを備えています。このチャンバーには、スパッタリングプロセス中に安定した温度を維持し、チャンバのコンポーネントの過熱を防ぐ冷却ポートもあります。コントロールユニットにはグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)があり、オペレータは簡単にスパッタリングプロセスをプログラムして監視できます。この包括的なインターフェースには、目標圧力や酸素流量、目標ガス混合物、堆積時間などのプログラマブルパラメータが含まれています。レシピ開発やスパッタリングパワーレベル調整などの高度な機能により、洗練された実験とカスタマイズされた薄膜コーティング生産が可能です。ITOは、高精度、再現性、プログラマブルパラメータを提供する高性能スパッタリングシステムです。電源、プロセスチャンバー、直感的な制御ユニットを組み合わせることで、生産性と製品品質を飛躍的に向上させることができます。
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