中古 TANGO SYSTEMS Topaz #9209449 を販売中

TANGO SYSTEMS Topazは、高純度フィルムの成膜用に設計された中央制御スパッタリング装置です。モジュラー設計を採用し、異なる蒸着アプリケーションに柔軟性を提供します。このスパッタリングシステムは、ユニット操作を制御し、スパッタリングパラメータを転送するためのさまざまな入出力ポートを備えたメインコントローラユニットで構成されています。このマシンには、反転マグネトロンカソード、コントローラ付き避難サブアセンブリ、真空ツール、高圧アンプ、4つのRFモジュール、プロセス排気、基板バイアス、電源も含まれています。Topazは、プロセスパラメータを正確に制御することで、薄膜と均一な膜の堆積を可能にするように設計されています。この資産は、広範囲に薄膜を堆積させることができ、高い沈着率を有する。また、ユーザーがさまざまなアプリケーションのプロセスパラメータをプログラムすることができます強力な制御モデルが装備されています。この装置は、広い領域から密な材料まで、さまざまな特定の堆積物を生成することができます。メインコントローラーユニットの面では、4つのRFドライブモジュール、明るさ調整、電流制御に対応するように設計されています。4つのRFドライブモジュールはスパッタリング陰極に電力を供給するために提供され、輝度調整はフィルムのコントラストを調整するのに役立ちます。また、堆積プロセスに応じて印加電圧と電流を制御するために使用される電圧コントローラが含まれています。メインコントローラはまた、フィルム蒸着温度の分解能の温度検出機能を提供します。温度センサを使用して、フィルム蒸着プロセス中の基板の温度を測定し、必要に応じて基板温度を調整するシステムアクチュエータを使用します。このユニットはまた、プロセス監視と診断機能を提供する機能を備えています。様々な基板や成膜パラメータを表示することができ、成膜プロセスを監視することができます。TANGO SYSTEMS Topazスパッタリングマシンには、独自の自動プロセス制御ソフトウェアも含まれており、異なる蒸着プロセスをカスタマイズしてプログラムする柔軟性をユーザーに提供します。ソフトウェアは、望ましい結果を得るために、温度、沈着率、およびその他のパラメータを制御するために使用することができます。これらのプロセスパラメータは、要件に従って、プログラムのユーザーインターフェイスを使用して変更およびプログラムすることができます。自動化されたプロセス制御ソフトウェアは、堆積プロセスのさらなる分析のための自動データロギングを可能にするためにも使用できます。トパーズは総合的なスパッタリングツールで、最先端の技術と効果的なユーザーインターフェースを組み合わせ、薄膜の効率的かつ正確な成膜を可能にします。この資産は汎用性が高く効率的であり、高品質の成膜速度で高品質の膜を堆積させることができます。