中古 TANGO SYSTEMS Axcela #9249009 を販売中

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ID: 9249009
ウェーハサイズ: 8"
Sputtering system, 8" (2) Load locks Transfer chamber with robot ICP Chamber PVD chamber for TSV deposition PVD chamber for RDL deposition.
TANGO SYSTEMS Axcelaは、業界をリードするコーティング用のさまざまな材料をスパッタリングするための理想的な選択肢となる多くの特殊な機能と高度な技術を備えたスパッタリング装置です。優れたスパッタリング均一性、正確なスパッタリング制御、および優れた材料コーティングと精度を可能にする非常に詳細なプロセスインタフェースを提供します。Axcelaは、電源コンセント、オンボード冷却水源、および低電力制御ユニット230V標準を利用して積極的に加熱および冷却される円筒形チャンバーで構成されています。また、手動またはオプションのプログラマブルコントロールで継続的に調整可能な自己完結型RFスパッターソースを装備しており、正確で反復可能なスパッタリングを可能にします。このシステムはインストールと使用が簡単で、操作には最小限のセットアップと向きが必要です。その主な特徴は、0-25mTorr圧力範囲制御、25-250ワットRFパワーコントロール、6-12インチ基板、および10位置回転サンプルホルダーが含まれており、さまざまなアプリケーションで柔軟かつ汎用性の高いユニットになります。タンゴシステムズAxcelaは、金属や合金からセラミックやポリマーまで、さまざまな材料をスパッタすることができます。基板に高性能で多機能な表面を作成するために、さまざまなコーティングを層状にして細かく制御するために使用されます。調整可能な電力を含む独自のソフトウェアコントロールにより、ユーザーは蒸着速度を正確に調整し、安定したプロセス条件を迅速に再現して正確かつ一貫した結果を得ることができます。さらに、ウェーハの積み下ろしを容易にするオープンロックドアを備えています。また、ハイスループット自動処理のために設計されており、最適な機械使用率とデータ収集および制御のための電子監視が可能です。さらに、事前設定されたプロセスの開始と停止などのフェイルセーフ機能や、不規則な場合にユーザーに警告するアラームツールも含まれています。これにより、完全なプロセス制御により、高品質で一貫した再現性のあるコーティングを安全かつ費用対効果の高い方法で保証できます。全体として、TANGO SYSTEMS Axcelaは、世界中の多くの先進的なメーカーやラボで使用される信頼性の高い高度なスパッタリング資産です。堅牢で使いやすいため、プロセスの再現性が向上し、優れたコーティング結果を得ることができます。その柔軟性と汎用性により、多くのコーティング作業に理想的な選択肢となり、優れた品質、費用対効果、汎用性の高いコーティングをユーザーに提供します。
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