中古 SYSTEM CONTROL TECHNOLOGY / SCT VLS 2150 #9240536 を販売中

機器制御技術/SCT VLS 2150は、半導体業界で広く使用されているスパッタリングシステムです。このユニットには、沈着プロセスのための低温スパッタリングを提供する再循環液体窒素（LN2）貯水池が装備されています。この機械は、物理蒸着と化学蒸着（PVDとCVD）、基板冷却と高精度温度制御の両方を提供します。SCT VLS 2150は、モノリシック傾斜ロータリーマグネトロン（MTM）を備えており、幅広い材料のスパッタリングに最適です。Tool CONTROL TECHNOLOGY VLS 2150は、多様なインタラクティブで直感的なオペレータインターフェースを備え、最適で一貫した結果を保証します。このアセットは、スパッタリングパラメータを正確に設定および監視し、スパッタリングプロセスをグラフィカルにナビゲートする機能をユーザーに提供します。リモートPCベースの監視および制御モデルを機器に追加して、最適な制御を行うことができます。VLS 2150は、独立した温度制御を維持しながら、最大5つのサンプルを同時にスパッタリングできるスパッタリングチャンバーを備えています。基板冷却はシステムに組み込まれており、半導体産業における高精度層の生産に重要です。また、金属、酸化物など様々な材料の堆積にも対応可能です。安全面では、Machine CONTROL TECHNOLOGY/SCT VLS 2150は、タッチスクリーンHMI、トリプル安全ドアカバーとインターロック、およびツールの安全な動作を維持するための調整可能な排気気流など、多くの機能を備えています。高度な自動化により、最高の安全基準と信頼性の高いプロセスも保証されています。SCT VLS 2150スパッタリングアセットコントローラには、高度なリアルタイムスパッタ蒸着制御機能、レシピ管理および保存モデルが装備されており、最大300レシピを保存できます。また、自動操作も含まれており、最高レベルの精度と再現性を提供します。全体として、装置制御技術VLS 2150スパッタリングシステムは、半導体および関連産業向けに設計された堅牢な装置です。高度なオートメーション、正確な温度制御、インタラクティブインターフェイスなど、さまざまな機能を提供します。高度な制御成膜により、VLS 2150はスパッタリングプロセスにとって信頼性が高く効率的な選択肢です。