中古 SURFACE SCIENCE Workstation #293808640 を販売中

ID: 293808640
Pulsed Laser Deposition (PLD) system Laser: COHERENT COMPexPro 201F or 205F Wavelength: 248 nm Substrate heater: 1000 °C Substrate rotation: 50 rpm Targets: 4 x 2" Size: 2200 x 850 x 1600 mm³ Water cooling: Included chiller (201F) Laser gases: 20 l Premix 10 l He Built-in gas cabinet Process gases: 2 MFC Channels Automated pressure control Control system: PC Based control Integrated TFT Monitor Power supply: 3×400 VAC/50 Hz or 3×208 VAC/60 Hz.
SURFACE SCIENCE Workstationは、幅広い研究および産業用途に精密かつ効率的な薄膜成膜を提供するために設計された最先端のスパッタリング装置です。この高度なシステムは、最先端の技術とエンジニアリングを組み込み、コンパクトでユーザーフレンドリーなプラットフォーム内で高性能スパッタリング機能を提供します。ワークステーションの中核にはスパッタリングプロセスがあり、ターゲットの表面から原子や分子を取り出すためにエネルギー的なイオンを持つターゲット材料の爆撃が含まれます。これらの放出された粒子は基板に堆積し、厚さ、組成、形態などの制御特性を持つ薄膜を形成します。SURFACE SCIENCE Workstationは、金属、酸化物、半導体などのさまざまなターゲット材料に対応できる多目的スパッタリングメカニズムを提供し、研究者やエンジニアが特定の用途に合わせて薄膜特性を調整することができます。ワークステーションのスパッタリングプロセスは、蒸着チャンバー内の高真空環境を維持する洗練された真空ユニットによって促進されます。この真空環境は、周囲の大気からの汚染や不純物を最小限に抑えることにより、堆積した薄膜の純度と品質を確保するために重要です。真空機械には、ターボポンプや低温ポンプなどの高度なポンプ機構が装備されており、最適なスパッタリング性能のために必要な真空レベルを達成し維持します。SURFACE SCIENCE Workstationの蒸着室は、複数のターゲット材料と基板に対応するように設計されており、汎用性の高い薄膜蒸着構成が可能です。このチャンバーは、温度、圧力、ガス流量パラメータを正確に制御し、一貫した再現性のある薄膜成長を保証します。さらに、このチャンバーには、水晶結晶マイクロバランスや分光楕円測定などのin-situモニタリングおよび診断ツールが装備されており、蒸着プロセスおよび薄膜特性に対するリアルタイムのフィードバックを提供します。ワークステーションのスパッタリングソースは、スパッタリングプロセスの効率と均一性を高めるマグネトロンスパッタリングツールです。マグネトロンスパッタリング源は、磁場を利用してスパッタリング時に発生するプラズマを閉じ込め、その結果、より高いスパッタリング速度と基板表面全体のフィルムカバレッジを向上させます。SURFACE SCIENCE Workstationは、特定の蒸着要件を満たし、薄膜品質を最適化するために、平面マグネトロンや円筒形マグネトロンを含むさまざまなマグネトロン構成を提供します。Workstationの制御資産は、スパッタリングプロセスの正確かつ直感的な操作を可能にする高度なソフトウェアによって供給されています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、研究者やオペレータは、沈着パラメータを設定し、プロセス変数を監視し、薄膜特性を容易に分析することができます。また、データロギングとストレージ機能も備えており、研究開発用の堆積実験の包括的な文書化と分析を可能にします。結論として、SURFACE SCIENCE Workstationは最先端のスパッタリングモデルであり、研究および産業用途向けに高度な薄膜蒸着機能を提供します。ワークステーションは、高性能スパッタリングメカニズム、洗練された真空装置、多彩な蒸着チャンバー、マグネトロンスパッタリング源、直感的な制御ソフトウェアを備え、薄膜材料と特性を探索し最適化するための強力なツールを研究者とエンジニアに提供します。
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