中古 SUNIC Sunicoat 522L #9144238 を販売中

SUNIC Sunicoat 522Lは、幅広い基板上の金属、多層構造、および高特異的抵抗材料の蒸着プロセス用に設計された光電子スパッタリング装置です。それはエネルギーフィルム、光学コーティング、表示、平らなパネル、導波管、光学貯蔵媒体および多くの生産そしてコーティングで使用されます。Sunicoat 522Lは、2列の磁気アレイと統合された磁気的に強化された平面マグネトロンを備えています。これにより、より高い速度でさまざまなターゲット材料のスパッタリングを行い、基板温度を下げることができます。このシステムはまた、超滑らかなスパッタ蒸着のための3つのゾーン線形電気絶縁スパッタチャンバーを備えています。さらに、このユニットには、光学およびフラットパネルアプリケーション用のアルミニウムと銅の層の堆積のための電動相互回転ヘッドが取り付けられています。SUNIC Sunicoat 522Lは、優れたプロセス制御と再現性を備えた高性能で費用対効果の高いスパッタリングプロセスを提供します。また、接地断層遮断器（GFI）と負荷/ライン破損保護機能を備えた最大限の安全性で設計されています。それは温度調整との強い一定性があり、大きい区域の基質上の連続的で、均一な沈着を行うことができます。スパッタリングのほかに、Sunicoat 522Lにはイオン源が内蔵されており、均一なプロファイルで高い速度でイオン沈着を可能にします。これにより、透明導電性酸化物（TCO）、誘電体、金属、多層膜などの幅広いプロセスが容易になります。内蔵の診断機がスパッタ電流と均一性を監視します。アラームツールは、より安全で効率的で正確なコーティングプロセスを保証します。全体的に、SUNIC Sunicoat 522Lは、高性能スパッタ成膜に使いやすく効率的なソリューションを提供します。