中古 SPUTTERED FILMS INC / SFI Shamrock 5 #9315279 を販売中

SFI （SPUTTERED FILMS INC） SPUTTERED FILMS INC/SFIシャムロック5は、薄膜を高精度に蒸着するために設計された物理蒸着（PVD）スパッタリング装置です。このシステムは、フラットパネルディスプレイ、オプトエレクトロニクス、エネルギー貯蔵、薄膜太陽電池など、さまざまな業界の生産スパッタリングアプリケーションのニーズに対応するように設計されています。SFIシャムロック5は、再現性と一貫した成膜結果を提供するシングルソースのフルレンジスパッタ成膜ユニットです。SPUTTERED FILMS INCシャムロック5は、PVDアプリケーション用に特別に設計された効率的なIn-Vacuum磁気マルチペルマグネトロンを使用しています。マグネトロンは、最大4つのスパッタリング源で動作可能で、優れた均一な蒸着特性を備えています。真空チャンバーは、優れたプラズマ均一性と低粒子生産を提供するように設計されています。サンプル段階は50 kgの負荷容量があり、360度を回転させ、0から45度まで手動で傾くことができますまたは遠隔に制御することができます。キャリアガス搬送機は、ユニットに酸素またはアルゴンを供給し、毎分0〜500立方センチメートルの流量範囲が可能です。Shamrock 5は、PVDプロセス全体を制御できる完全に統合されたプロセス制御ツールを備えています。これには、基板温度監視、調整可能なプロセスパラメータ、およびリアルタイムプロセスモニタリングが含まれます。この資産には、統計プロセス制御（SPC）モデルへのインタフェースが含まれ、プロセスおよび品質管理データを文書化します。SPUTTERED FILMS INC/SFIシャムロック5は、ほとんどの金属、合金、セラミック材料、および有機材料を堆積することができます。装置はまた特別な適用のためのモノおよび二層の沈殿を支えます。システムは手動またはリモートで操作でき、さまざまなデジタルおよびアナログ機器に接続できます。このユニットには、データ取得、分析、およびプロセス制御のためのソフトウェアプログラムとインストゥルメントもあります。全体的に、SFIシャムロック5は、幅広い蒸着プロセスに適した効率的で高精度なスパッタリングマシンです。このツールの高度なプロセス制御アセットは、一貫した反復可能な結果を提供します。このモデルは操作が簡単で、リモートでプロセスパラメータを制御し、リアルタイムで結果を監視する機能をユーザーに提供します。