中古 SPUTTERED FILMS INC / SFI Endeavor 8600 #293628677 を販売中

ID: 293628677
ウェーハサイズ: 6"
Sputtering system, 6" (4) Chambers CTI CRYOGENICS 9600 Compressor PC.
SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600は、薄膜を堆積するために特別に設計された産業用スパッタリング装置です。このシステムは、自己完結型のフィールドアップグレードユニットで利用可能な最高性能の薄膜スパッタリング技術を提供します。SFI Endeavor 8600は、要求の厳しい薄膜コーティングに最適です。SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600には、複雑なフィルムを適用するための多くの機能があります。沈殿物のフィルムの質を最大にするように設計され、広い基質の受諾を提供する脈打ったDCのマグネトロンスパッタリングの技術。多種多様な沈着率、高い沈着率、表面の根本的な均質性により、粘着性と高品質のフィルムが得られます。Endeavor 8600には高度なプロセス制御機能が搭載されており、プロセス最適化機能を完全に統合して、さまざまな基板上の成膜速度と均一性を制御できます。また、統合されたEndeavor 5500 CCD Cameraにより、フォーカスとエッジトラッキング機能が強化され、レプリケーションプロセスの精度が向上します。SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600は、SiO₂やSiNxなどの誘電性フィルムから高貴で耐火性の金属まで幅広いフィルムを提供し、ツールセットで幅広いフィルムを提供します。SFIは、高度な薄膜プロセス制御のための特許取得済みのX線源を含むことにより、他のスパッタリングマシンとは別に設定しています。このX線源はSFI Endeavor 8600に統合されており、プロセス制御を支援し、スパッタフィルムから基板への膜の沈着を最小限に抑えます。SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600は、セラミック部品と内層用のアルミベースとステンレススチールエンクロージャを備えた自己完結型ツールです。アセットには、ブースレス構成の柔軟性を提供するために、フロントとリアのエアストリームのエンドエフェクトサービスドアも含まれています。Endeavor 8600は、スパッタリング中の反復性と操作性を確保するために、24時間のデューティサイクルで設計されています。さらに、SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600は、緊急停止ボタン、スパークサプレッサ、緊急オートシャットダウンなどの安全性と緊急機能を提供します。緊急事態の特徴はオペレータの安全を保障し、緊急事態の場合の基質の最小にします。全体として、SFI Endeavor 8600は、業界の要求を満たすための機能と機能を備えた印象的なスパッタリングモデルです。SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600は、自己完結型の機器に含まれています。
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