中古 SPUTTERED FILMS INC / SFI Endeavor 8600 #293628676 を販売中

ID: 293628676
ウェーハサイズ: 8"
Sputtering system, 8" (4) Chambers CTI CRYOGENICS 9600 Compressor PC.
SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600は、金属、金属酸化物、およびセラミック材料の膜を基板に堆積させる、科学的、産業的、研究用途の範囲で使用されるスパッタ装置の一種です。SFI Endeavor 8600は、均一な厚さと高純度のフィルムを作成するマグネトロンスパッタイオンソースを使用しています。直流、無線周波数、およびデュアル周波数モードで動作し、プログラム可能なパラメータと調整可能なパルスレベルを備えた最先端のコントローラを備えています。このシステムは、スパッタリングターゲット、基板、真空ポンプの3つの主要コンポーネントを含む真空チャンバーを使用しています。通常、チタン、クロム、クロム-プラチナ、クロム-ベリリウム合金からなるターゲットは、バッキングプレートとパワーパドルに座っています。銅、ガラス、ポリマー、その他の材料を含む基板は、ターゲットの上に据え付け品に配置されます。SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600は、スパッタリングプロセスを制御するためのバッキングプレートとパワーパドルを備えたシングルゾーンまたは3ゾーンの真空チャンバーを使用しています。この機能により、スパッタされたフィルムの正確な均一性と無敵のレイヤーカバレッジが可能になります。このユニットはまた、スパッタリングの制御レベルを可能にする可変圧力オプションを提供し、ユーザーは特定の要件に合わせて圧力を調整することができます。さらに、Endeavor 8600には多くの機能があり、研究者やエンジニアにとって理想的です。これらの特徴は、真空チャンバとロードロック間の移動中に基板が元の位置を保持することを保証する急速なトランスファーチャンバーを含みます。また、基板をチャンバに素早くロードするように設計されたロードロックと、汚染を最小限に抑え、部品寿命を延ばす自動保護サンプルホルダーを備えています。最後に、SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600には、手動プログラムとコンピュータ制御プログラムの両方が含まれており、ユーザーは特定のアプリケーション用にマシンをカスタマイズすることができます。この柔軟性により、SFI Endeavor 8600は、研究開発およびその他のさまざまなアプリケーション向けの強力で信頼性の高いツールとなります。
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