中古 SPUTTERED FILMS INC / SFI Endeavor 8600 #293628672 を販売中

ID: 293628672
ウェーハサイズ: 6"
Sputtering system, 6" (4) Chambers CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor PC.
スパッタフィルム株式会社SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600は、薄膜成膜用に設計された特殊なスパッタリング装置です。このシステムは、プラズマベースのスパッタリングプロセスを使用して、薄膜を基板に堆積させます。スパッタリングプロセスは、真空チャンバー内のエネルギーイオンで基板表面を爆撃することを含みます。これにより、対象物質から原子が排出され、薄膜として基板表面に堆積する。SFI Endeavor 8600スパッタリングユニットは、高い機械性能と薄膜成膜の制御性を提供する高度な機能セットで設計されています。これらの機能の1つは、スパッタされている材料に合わせて出力を調整することができるツールのRFパワーコントロールです。これにより、膜厚と蒸着速度をより良く制御できます。さらに、SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600には、電力供給を最大化し、イオンエネルギー拡散を低減するためのデュアルステージのマルチソースRFジェネレータが含まれています。このアセットには、10チャンバースパッタリングチャンバーの設計も含まれており、スループットの向上とフィルム品質の最大化のために複数の層を並列に堆積することが可能です。さらに、モジュール式の柔軟性を考慮して設計されており、最大10個のプロセスモジュール、1個の機械式ポンプモジュール、2個の冷却システムをインストールできます。これは、複雑なフィルムや特殊な材料をスパッタするための完全に統合された機器を提供します。最後に、Endeavor 8600は優れた真空能力を提供し、ターボ分子真空ポンプとターボポンプを備えています。これにより、スパッタリング時間が短縮され、フィルム特性の制御が向上します。また、メンテナンスが容易な設計となっており、信頼性の高い部品や安全機能が一体化されているため、薄膜成膜に最適なツールです。結論として、SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600スパッタリングユニットは、薄膜成膜用に設計された先進的な機械です。これは、高度な機能と機能の範囲を提供しています、高いツールパフォーマンスとフィルム蒸着のより大きな制御を提供します。このアセットは、複雑なフィルムや特殊な材料の堆積に最適で、メンテナンスと信頼性を容易にするように設計されています。
まだレビューはありません