中古 SLOAN SL 1800-S #70881 を販売中
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ID: 70881
Automated DC sputter gun system. This system includes 3 sputter gun heads with Sloan Model SP 2/5 2kw power supply. The two part process chamber is l8" dia with the lower ss portion 11" deep, while the upper Pyrex collar and plexiglass implosion cage adds 6" to the overall depth. The pumping system consists of a Varian VHS6 diffusion pump rated at 2400 l/s, integral LN2 trap with controller, electropneumatic valves with Sequentorr II sequencer, ion gauge and a Welch 1397-17.7 CFM mechanical roughing pump. A Sloan Model DDC500 digital deposition controller with 3 sensor heads, shutter control and horizontal planetary are also included.
SLOAN SL 1800-Sスパッタリング装置は、さまざまな表面コーティング用途に対応する汎用性と強力なツールです。このシステムは、精密な制御を必要とするプロセスのための異なるスパッタリング技術を使用して、材料の広い範囲を堆積することができます。スパッタリング工程自体は、電子ビームからエネルギーイオンを爆撃して標的物質を蒸発させることを含みます。これにより、ターゲット材料は微粒子のような原子を生成し、チャンバーガスを通過して基板表面に堆積します。このスパッタリングユニットは、18インチのベルジャースタイルの直径チャンバーを備えており、基板を回転させる際に蒸着の均一性とカバレッジを最大化するのに役立ちます。また、基板温度、圧力、および調整可能な蒸着速度を正確に制御し、高品質の均一なコーティングを成膜することができます。SL 1800-Sは、DC、 RF、またはパルススパッタリング、およびRFエッチングを可能にします。この機械には、アルゴンや他のガスなど、さまざまなプロセスガス機能が含まれています。圧力を正確に制御することができ、スパッタ速度を正確に制御する必要があるプロセスに最適です。高度なコントローラはスパッタリングプロセスを調整するためにも使用され、正確で再現性のある結果を得ることができます。SLOAN SL 1800-Sの強力な沈着機能に加えて、基板操作も可能です。これには、基板を動かして傾ける機能と、スパッタリングターゲットに関連して基板角度を変更する機能が含まれます。基質の回転は均一なコーティングを保障するために有利です。SL 1800-Sは、スパッタコーティング、イオンアシスト成膜、セラミック層製品など、幅広い表面コーティング用途に最適です。プロセスパラメータの正確な制御とツールの汎用性により、合理的な速度で高品質のコーティングを製造するのに理想的です。SLOAN SL 1800-Sは費用対効果が高く高性能な資産であり、現代のコーティング用途に最適なツールです。
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