中古 SHOWA SHINKU SRL-3320 #9078363 を販売中
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SHOWA SHINKU SRL-3320は、高度で汎用性の高いスパッタリング装置です。蒸着プロセスでスパッタされた材料の品質と量を最適化するように設計されています。このシステムは、両面8ヘッドスパッタリングユニットを備えた4軸リニアポジショニングステージで構成されています。これにより、最高の精度と生産能力を実現します。機械は0。02-3 μ mの間の厚さのあらゆる要素、混合物、または合金の薄膜を放出することができます。また、複合材料や多層材料をスパッタするために使用することができ、層の厚さと組成を制御します。さらに、画層の厚みの均一化、正確な組成制御、表面の滑らかさを確保するための自動画像解析ツールを内蔵しています。最高品質の結果を達成するために、資産のパラメータをカスタマイズして調整することができます。これらのパラメータには、厚さ、形状、堆積率、および環境が含まれます。これにより、蒸着プロセスを正確に制御できます。さらに、イオンビーム装置を追加し、沈着前および沈着後の処理も可能です。このイオンビームシステムは、高指向性エッチング、イオン注入、沈着後の洗浄など、さまざまな処理に対応できます。このユニットは、デュアルインターロックやフラックス制限バルブなどの高度な安全機能を備えています。これにより、使用中の機械が安全で安全であることが保証されます。さらに、このツールには、機器の損傷や劣化を防ぐための防食コーティングも装備されています。全体として、SRL-3320はさまざまなプロセスに理想的なスパッタリングアセットです。それは最高の正確さおよび生産能力を提供し、最もよい結果のための変数の完全な制御そしてカスタマイズを可能にします。さらに、ユーザーを保護し、運用の信頼性と効率を最大化するための堅牢な安全および保護対策が付属しています。
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