中古 SHIMADZU HSR-512A #9053824 を販売中

SHIMADZU HSR-512A
ID: 9053824
ヴィンテージ: 1994
Sputtering system, 1994 vintage.
SHIMADZU HSR-512Aは、SHIMADZU Corporationの全自動スパッタリング装置で、研究および商用アプリケーションにおける様々なスパッタリングニーズに対応して設計されています。sysremは、表面仕上げを改善するために設計されており、調整可能なスキャン速度、および自動厚さ測定機能を備えています。このシステムは、ダイオードカソードで構成され、厚さを測定するために単色X線エネルギーアナライザを使用しています。自動深度補正を利用して、サンプルとターゲット基板の違いを調整します。HSR-512Aは回転式および線形スパッタリングの技術を利用して望ましい結果の広い範囲を達成します。丸い蒸発プラットフォームを持ち、最大800VDCのDC電源から電力を受け取ります。チャンバー内部で作成された真空は、3。7 × 10-7 Paの基圧に達することができます。クーラントユニットで構成されているため、チャンバー全体で温度を制御することもできます。この機械は、光放電と電子逆散乱イオン源を利用して、スパッタリング速度を正確に制御することができます。このツールは、プロセスを制御するのに役立つ色のタッチパネルで、ユーザーフレンドリーに設計されています。ユーザーインターフェイスにより、ガス流量と圧力、スパッタリング時間、基板温度などの特定のパラメータを設定できます。また、最大50のプログラムと関連パラメータを格納するプログラム生成器も備えています。ウォーターフィルターアセットなどの追加コンポーネントを追加して機能を向上させることができます。SHIMADZU HSR-512Aは、スパッタ機能に加えて、高精度で再現性のある結果も提供します。単色X線エネルギー解析により、± 2〜3%の精度でコーティング厚さを測定することができます。このモデルから収集されたデータを使用して、コーティング速度を設定範囲内に制御することもできます。スパッタリングプロセスを正確に制御および測定する必要がある場合、HSR-512Aは効果的なソリューションです。ユーザーフレンドリーなインターフェース、正確な読み取り、最大50のプログラムを保存できるため、自動スパッタリング装置として際立っています。このシステムの特徴の組合せはスパッタリングソリューションを考慮するときそれを賢明な選択にします。
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