中古 SHIBAURA SWN5000 #293634649 を販売中

SHIBAURA SWN5000は、半導体業界で薄膜ウエハの製造に使用されるスパッタ装置です。スパッタは、ガラス、プラスチック、セラミックなどの基板に薄い層を堆積させるプロセスです。スパッタプロセスは、電子マイクロ回路、光学デバイス、医療インプラントおよびその他のマイクロチップに使用されます。SWN5000は、8相パワーサプライと高解像度DCパワーコントロールモジュールを搭載した高精度スパッタシステムです。これにより、スパッタコーティングが均一な堆積率を持ち、基板上の材料の均質な層を作り出すことができます。また、SHIBAURA SWN5000のコントロールユニットは、パルススパッタリング条件を幅広く設定することができます。機械はまた非常に小さい、精密なパターンおよび他の複雑な形を作り出すのに使用することができる高精度を備えています。SWN5000は、独立したエッジ型シールド電極を備えた線形マグネトロンスパッタリング陰極を使用しています。このタイプの構造は、より均一なスパッタリングを可能にするだけでなく、より高いアスペクト比を持つ領域でのより精密な堆積を可能にします。さらに、このツールは、さまざまなフィルム成膜パターンを達成するために、さまざまなパルス期間、パルス電力、パルス周波数を生成することができます。SHIBAURA SWN5000には、金、モリブデン、アルミニウム、タングステンなどのターゲット材料をスパッタリングするために使用することができるセラミックコートクォーツるつぼのペアが取り付けられています。また、圧力制御バルブ、温度センサー、温度制御ユニットを備えており、ユーザーはキャビティの圧力と温度を調整して一貫した信頼性の高いプロセスを保証することができます。SWN5000は、不要な改ざんを防ぐために、水冷やインターロックなどの安全機能の広い範囲が付属しています。また、空気中の粒子を避難するための排気マニホールドが付属しています。全体的に、SHIBAURA SWN5000はスパッタコーティング薄膜ウエハの効率的で安全で信頼性の高い資産です。その高度な機能は、ユーザーがターゲット材料や基板の広い範囲で高精度の結果を達成することができます。