中古 SEMICORE / MRC SEC-643 #9250939 を販売中

SEMICORE/MRC SEC-643は、半導体蒸着アプリケーション用に設計された金属有機化学蒸着（MOCVD）スパッタリング装置です。4つの高性能ショットキーイオン源を搭載しており、高速蒸着が可能です。このシステムは、最大限の制御と柔軟性を提供する汎用性の高い電源構成を備えています。幅広い蒸着技術のために最大450 Wの電力を供給することができます。MRC SEC-643には2つの大きなターゲットプラットフォームが装備されており、最大4つのフィルムを同時に蒸着できます。さらに、ターゲットは任意の方向に回転してコンフォーマル成長を最大化することができます。このユニットはまた、最適なプロセス条件を可能にする調節可能なチャンバー圧力制御を備えており、最高品質のフィルムを保証します。SEMICORE SEC-643マシンは、蒸着プロセスのクラス1クリーン環境も提供します。このツールには、蒸気キャプチャアセット、フォースフローモデル、および大容量のろ過装置が含まれています。蒸気キャプチャシステムは最低の蒸気損失を保障しますが、力流の単位は部屋の空気が高性能の粒子の空気（HEPA）フィルターを通してろ過されることを保障します。大容量のろ過機は深いプリーツをつけられたフィルター、また深床によって活動化させる炭フィルターを含んでいます。SEC-643ツールには、信頼性の高いクリーンなチャンバーローディングと効率的なサンプル交換のための超低振動堅牢なロードロックが含まれています。それは容易な開始および維持のために設計されています、最低のダウンタイムを保障します。このアセットには、直感的なタッチスクリーンHMIと、組み込みレシピやプロファイリングアルゴリズムなどのさまざまなレシピコントロールオプションも含まれています。SEMICORE/MRC SEC-643スパッタリングモデルは、半導体の高分解能成膜のための信頼性の高い効率的な装置です。汎用性の高い電源構成、調節可能なチャンバー圧力制御、堅牢なロードロックにより、幅広い蒸着技術に優れた性能を提供します。