中古 ROBUST 300 #293596982 を販売中

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スパッタリング装置
製造業者
ROBUST
モデル
300
ID: 293596982
ウェーハサイズ: 12"
PVD Sputtering system, 12" Chamber Chiller (2) Loadports (5) Pumps Robot RF Generator rack Voltage box.
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ROBUST 300は、正確な制御と精度で確実に蒸着速度を提供するように設計された工業用グレードのスパッタリング装置です。このシステムは、強力な3ターゲットDCスパッタリングソースを備えており、数ナノメートルの薄さの基板に材料の層を堆積させるために使用することができます。単位は統合された可変的な頻度ドライブのおかげで温度の広い範囲で作動でき、600°Cまで温度を扱うことができます。プログラマブルロジックコントローラ（PLC）によって制御され、再現可能なプロセスのために完全に自動化することができます。この機械は、プロセスチャンバー、ターボ分子ポンプ、および3ターゲットのマグネトロンスパッタリング源で構成されています。プロセスチャンバーは、グレードインピーダンス、フルマグネトロンエントランス、マルチパルスソースのペアを使用して、基板またはワーク全体のプロセスの均一性を最大化するように特別に設計されています。ターボポンプは、効率的で省エネルギーの真空品質を確保するのに役立ちます。3ターゲットのマグネトロンスパッタリング源は300の中心であり、エネルギーイオン爆撃を発生させ、均一なフィルム接着を提供することができる強力なツール構成を備えています。さらに、プロセスチャンバーにはノイズ抑制機構と干渉のない動作が装備されているため、過酷な産業環境での使用に最適です。このアセットは信頼性が高く使いやすく、ROBUSTの設計により、高精度のコーティング要件に対する信頼性の高い選択肢となります。このモデルは、導入以来ASEP認証を受けており、正確性、化学的および物理的安定性、および機器の寿命を確保しています。さらに、ROBUST 300は様々なアクセサリやソフトウェアと組み合わせることができ、スパッタリングプロセス全体を自動制御できます。要約すると、300は、産業用途の厳しい要件を満たすように設計された信頼性の高い強力なスパッタリングシステムです。ノイズサプレッションユニット、効率的なターボポンプ、ASEP認定機などの機能を備え、産業ユーザーの高精度コーティングニーズに信頼性の高い正確なソリューションを提供します。
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