中古 QUORUM TECH / BIO-RAD / POLARON E-5150 #126407 を販売中

QUORUM TECH/BIO-RAD/POLARON E-5150スパッタリング装置は、研究および産業用途向けに設計された汎用性の高いコンパクトなスパッタリングプラットフォームです。この最先端の高性能スパッタリングシステムは、さまざまな用途において高いレベルの柔軟性とカスタマイズ性を提供し、さまざまな金属および誘電材料の均一で高品質なフィルムを作成するための理想的なツールです。BIO-RAD E-5150は、2つの2inターゲットと1つの3inターゲットを備えた150mmユニットです。アンバランスなDCスパッタリングとバランスの取れたDCスパッタリングの両方のために設計されており、それぞれ最大8µm/hr、 50µm/hrの成膜率を達成できます。各ターゲットを適切なシールドで個別に使用することで、ソースのクロス汚染を低減できます。基板バイアスのための可変パルス幅、周波数、バイアスコントロールを備えており、送電の正確な制御を可能にします。POLARON E-5150は、4x10-4〜4x10-7 Torr（絶対値と通常値の両方）の真空下で動作します。また、高均一成膜のための堅牢なチャンバー設計を備えており、圧力密度の高いドアと調節可能な内部高さを備えています。さらに、プラズマ制御を自動化し、多種多様な基板や成膜要件に適応することができます。QUORUM TECH E-5150は、優れたパフォーマンスを実現する多数のハイテク機能を備えた直感的でユーザーフレンドリーなツールです。ユーザーインターフェイスにより、動作パラメータを完全にカスタマイズでき、最適なプロセス歩留まりを保証します。また、自動シャットオフ資産、緊急ゴムマット保護、連動スタンドバイスイッチ、アラームインジケータなどの統合された安全機能も含まれています。要するに、スパッタリングモデルE-5150、様々な金属や誘電材料の均一で高品質のフィルムを作成するための理想的なツールです。QUORUM TECH/BIO-RAD/POLARON E-5150は、優れたチャンバー設計、可変パルス幅、周波数およびバイアスコントロール、直感的なユーザーインターフェイス、および十分な安全機能を備え、スパッタリング技術の最高水準を満たす信頼性の高い強力な機器です。