中古 QUORUM TECH / BIO-RAD / POLARON E-5100 #9185072 を販売中

ID: 9185072
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Quorum Technologies QUORUM TECH/BIO-RAD/POLARON E-5100は、高度な研究開発アプリケーション向けに設計された洗練されたスパッタリング装置です。このスパッタシステムは、薄膜成膜とエッチングの分野でユーザーに最大限の汎用性を提供するように設計されています。BIO-RAD E-5100は、必要に応じて追加のビルド高さを備えたフラットおよび円筒形チャンバーを提供し、幅広いプロセス技術を可能にします。これには、いくつかの種類の磁気およびRFスパッタリング、イオン注入および洗浄、およびシャドーイングが含まれます。標準のオンラインプロセスコントロールユニットは、機械のすべてのプロセスとパラメータが精密分析のために監視および記録されることを保証します。このツールには、プログラマブルな自動リフトソースなどの機能も含まれており、使用済みの材料を簡単に取り外すことができます。アルミナはさみ金はまたクリーニングのとき高い血しょう密度を保障します。数十種類のカソード構成を使用することができ、さまざまなコーティング材料をスパッタすることができます。積分磁気シールドは、サンプルが資産の磁場の影響を受けないようにします。POLARON E-5100は、異なるターゲット構成を可能にするように設計されており、厚さ2ミクロンまでの薄膜を処理できます。均一なフィルムカバレッジを確保するために、幅広い光学絶縁シールドとフレクタを使用できます。スパッタリングモデルを実行するために必要な電源は調整可能であり、ユーザーはプロセスのニーズに合わせて機器を完全にカスタマイズできます。E-5100にはアルゴン用の2つのガスラインが内蔵されており、制御モジュールを使用すると、圧力を3mBarに抑えることができます。効果的なポストスパッタリング処理のために、専用のケミカルエッチングシステムが含まれています。Quorum Technologies QUORUM TECH E-5100は信頼性の高いスパッタリングユニットで、優れた寿命とパフォーマンスを提供します。汎用性の高いプロセス制御、広範なシールド、および強力なハードウェアを組み合わせることで、さまざまな薄膜アプリケーションに最適です。高品質の部品と高精度の調整オプションが混在しているため、高度な研究開発に最適です。
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