中古 QUANTUM INNOVATIONS Mercury 4 #177173 を販売中

QUANTUM INNOVATIONS Mercury 4は高効率スパッタリング装置で、幅広い材料や用途に最適です。熱効率、耐久性、使いやすさを重視して設計されており、生産、研究、開発に最適です。Mercury 4の中核はスパッタカソードで、真空密封型のガルバノメーターと、正確で低真空スパッタリングのための強力なマグネトロン源を備えています。重金属などのスパッタが困難な場合でもカソードの高出力とスパッタ率を維持し、堅牢な性能と信頼性の高い結果を保証します。このシステムには、スパッタリングプロセス全体にわたって正確な温度制御を保証するために、Dewar冷却ターゲットチャンバーが装備されています。これにより、加工中にターゲット材料が損傷しないようにします。さらに、QUANTUM INNOVATIONS Mercury 4には、チャンバーの真空シールと、水冷壁と標準構成の500L/minを超えて避難できる真空ポンプが含まれています。Mercury 4の高精度コントロールは、正確で再現性のある結果を保証します。このユニットは、複数の層の複雑なレシピに従い、DCおよびRFバイアスを一貫して維持することができ、高密度および溶融点金属、有機、有機/無機ハイブリッド、高温超伝導体などの幅広いターゲット材料に使用することができます。QUANTUM INNOVATIONS Mercury 4には、漏れ防止避難用のゲートバルブ、ゲートバルブが開いているときに放電電圧を遮断する自動インターロック、電源障害保護機など、複数の安全機能が備わっています。さらに、このソフトウェアは、安全開始などの安全と保護機能の包括的な範囲を備えています-プロセスが開始する前に確認する必要があり、各サイクルの開始と終了時に許可の要求。コントロールパラメータを変更する前にターゲットリセットの遅延。プロセス周期の終わりの部屋圧力の自動化された制御；パラメータを自己設定します。全体的に、Mercury 4はパワー、再現性、安全性の完璧な組み合わせを提供し、あらゆるタイプの材料や用途に最適です。