中古 PROVAC PAS200T #9116850 を販売中
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ID: 9116850
ウェーハサイズ: 12"
High vacuum sputtering system, 12"
Square wafers up to 8" x 8" can be coated with a distribution of < + -5%
Automatic loading and unloading
Substrates to be processed are picked up from the respective cassettes by robot handling and placed on the coating tables
Substrates subsequently evacuated and moved into the process chamber
Throughput: ≤ 48 wafers per hour
Maximum temperature of panels: 130°C
Si-sputtering:
Film thickness distribution: < + - 10%
Reproducibility: < + - 5%
Automatic process control
Pump set: High vacuum valves in front of the turbo pumps, one turbo pump each for the process chamber and each load lock
Magnetron: 1 x 16" ONYX-cathode with rotary magnet Pulsed DC magnetron power supply Silicon target 16"
High vacuum inline
Process chamber
(2) Load locks
Robot handling
Basic frame
Size of PC rack: integrated within the frame
Electric supply: (3) phases, full load capacity N, PE
Electrical connection data:
Voltage: 3 x 400V / 230V AC / ± 10%
Frequency: 50 or 60Hz ± 1%
Voltage: 35A
Currently warehoused.
PROVAC PAS200Tは薄膜成膜用に設計されたスパッタリング装置で、PVDコータシリーズのインプレッタです。このシステムは、エレクトロニクス、光学、シリコン、半導体、その他多くの産業や用途に最適な、様々な基板に最高品質のスパッタ成膜を提供する能力を持っています。PAS200Tは20までの材料をスパッタリングすることができ、金属合金、酸化物、窒化物、テルル化物、および炭化物に小型、中型または大規模な基板の範囲で使用することができます。このユニットはまた、目的の材料特性と特性が最終結果で達成されることを確認するために、幅広いプロセスコントロールを備えています。プラズマパワー、圧力、ガス流量、蒸着速度、膜厚制御など、さまざまなプロセスパラメータを管理できます。機械は超高真空チャンバーで囲まれています。このチャンバーは、外部の内部環境からの分離を可能にし、薄膜蒸着に最適なプロセス条件を保証します。このツールはまた、トップポジションのターゲットホルダーを備えており、均一な回転と一貫したスパッタリング材料の露出を保証します。これには2つの線形翻訳段階があり、エンジニアは配置プロセス中に基板を上下に移動させて最適な蒸着速度と均一なコーティングを得ることができます。また、スパッタされた材料をマスキングし、基板の選択領域に焦点を合わせるために使用される内蔵のコリメータが装備されています。さらに、基板に堆積する材料の種類に応じて、さまざまな陰極で使用することができます。PROVAC PAS200Tには、真空、空気、水圧警報、温度センサー、真空モニターなど、操作性と安全性を確保するためのいくつかの安全性と利便性も備えています。また、機器部品を保護するための高温保護モデル、および危険な部品へのアクセスを防ぐための機械式ドライブスクリーンも含まれています。最後に、装置はまたユーザーが容易にあらゆるコンピュータからシステムを作動させることを可能にする便利な一組のデジタル入力および出力を含んでいます。結論として、PAS200Tは薄膜成膜用の信頼性の高いスパッタリングユニットであり、多くの産業や用途に最適です。プロセス制御機能の配列は、可変性と正確性を可能にし、その様々な安全性と利便性は、ユーザーフレンドリーを保証します。
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