中古 PLASMATHERM / UNAXIS Clusterline 300 #9123065 を販売中

PLASMATHERM/UNAXISクラスタライン300は、信頼性と高度なスパッタリング装置です。マグネトロンスパッタリングによる薄膜金属、絶縁、半導体材料の成膜に関する総合システムです。このユニットは、一度に4つの8「基板、または2つの12」基板を処理するように設計されています。コンパクトな設計により、優れた性能と費用対効果を提供します。このマシンは、自動材料蒸着プロセスと数値PLC制御ツールによるインテリジェントな監視を備えています。これは、最適化された基板ベースの動きと高度なプロセスパラメータ制御を利用します。さらに、アセットには、均一な材料沈着を確保するために、デュアルマグネトロン源が装備されています。このモデルには、ステップカバレッジを向上させるための回転アシストとハイブリッド（プラズマ）ソースも含まれています。UNAXIS Clusterline 300には、幅広いソースおよび基板材料が搭載されています。これには金属、絶縁体、光学コーティングおよびPECVDポリマーが含まれます。また、高度な温度制御システムと、ユニット全体で正確で安定した温度を保証する高度な温度モニターを備えています。PLASMATHERM Clusterline 300は、革新的な高度な基板洗浄機を備えており、最高品質の薄膜蒸着を保証します。このツールは、フィードスルー、汚染、シャドーイングも低減し、4つの基板全体に均一な厚さを確保します。さらに、リアルタイム薄膜モニタリング用の先進的な準外反射計（QTTR）を搭載しています。Clusterline 300は、薄膜成膜において最高の生産性を提供する柔軟で高性能なモデルです。それは信頼でき、費用効果が大きい、長い機械生命があります。