中古 PLASMA SCIENCES Arc #9012320 を販売中

PLASMA SCIENCESアークは、様々な基板に薄膜を堆積させるために使用されるスパッタ装置です。この高度な蒸着技術は、磁気増強アルゴンガスを利用して、非常に均一なスパッタリングプロセスを作り出します。アークは、従来のスパッタリングシステムと比較して、幅広い産業用途に適したユニークな物理的および化学的特性を持つフィルムを製造することができます。プラズマサイエンスアークは、チャンバー、カソード、アノードで構成されています。陽極は通常、原子炉内部に埋め込まれ、陽極はチャンバーの外に伸び、磁場コイルが含まれています。アルゴンまたはアルゴンと反応ガスの混合物がプロセスガスとして使用されます。磁気コイルはチャンバー内に強力な磁場を発生させ、アルゴンイオンのエネルギーを小さな非常にエネルギッシュなスポットに集中させます。このエネルギーの増加はスパッタ効率を向上させ、均一な厚さの高品質のフィルムを作成するのに役立ちます。アークは、セラミックス、金属、有機高分子、半導体、ガラス材料など、さまざまな基板に薄膜を堆積させることができます。フィルムは通常30C以下の低温環境に堆積し、基板への熱効果を最小限に抑えることができます。このシステムで製造されたフィルムは、低粒子の汚染に強いため、半導体や光学デバイスの製造に最適です。PLASMA SCIENCESアークは、酸化物、窒化物、金属などの導電性材料と非電導材料の両方を堆積することができます。Arcは、自動化されたプロセス制御ユニット、統合されたエンドポイント検出機、堅牢な安全インターロックなど、いくつかの追加機能を提供します。この先進的なツールは、高いスパッタ率、均一で一貫したフィルム成膜を提供し、さまざまな用途で高品質の薄膜を製造することができます。その低温蒸着と様々な基板との互換性は、高度な電子および光学デバイスの生産のための優れた選択肢となります。