中古 PERKIN ELMER / RANDEX 3410-6J #9275483 を販売中

PERKIN ELMER/RANDEX 3410-6Jは、複数の材料を同時に蒸発させることができるマルチターゲットスパッタリング装置です。フラットパネルディスプレイ、光学コーティング、パッケージングなど、さまざまな用途の薄膜の成膜に最適です。高真空の多層マグネトロンスパッタリング源を採用し、磁場を利用してイオンを基材に向けることで薄膜を形成します。これは、4つの堆積源、2つの6インチのターゲットと2つの4インチのターゲットを使用しています。6インチのターゲットは、直径6インチまでの基板材料に使用できます。4インチのターゲットは、より小さな基板に使用することができます。また、現場のDCモニタリングマシンを備えているため、ユーザーは堆積プロセスをリアルタイムで追跡および記録できます。統合されたコントローラは、ツールのメイン真空および補助ロータリーポンプを動作させ、ソースを制御します。コントローラは、現場のDC監視アセットのインターフェイスとしても機能し、プロセスの任意の時点で測定を行うことができます。このモデルには内部ロードロックが含まれており、真空を損なうことなくサンプル交換を行うことができます。また、内部ロードロックにはサンプルハンドリング装置が自動装備されているため、基板をある場所から別の場所に簡単に交換できます。このシステムは、金属、合金、酸化物、窒化物など、さまざまな材料をスパッタリングすることができます。マルチターゲット機能を備えており、複雑な薄膜構造を作成できます。また、プランサーソース構成とデュアルプラズマソース構成も含まれており、同じ蒸着ジョブで異なるフィルム密度と厚さを可能にします。このユニットは、アルミニウムに最大6ナノメートル/秒、シリコンに最大1ナノメートル/秒のスパッタ蒸着速度が可能です。2 × 10-10 Torr未満の基圧により、非常に優れた真空性能を発揮します。また、導電性フィルムと非導電性フィルムの両方を均一に蒸着することができます。このツールはユーザーフレンドリーで、機械インターロック、オープンチャンバー検出、クローズドチャンバー検出、電子回路ブレーカなどのさまざまな安全機能を備えています。このアセットには、チャンバーを解放して再加圧する際の統合パージなど、さまざまな機能が搭載されています。RANDEX 3410-6Jは、精密な薄膜成膜が可能なマルチターゲットスパッタリングモデルを必要とするユーザーにとって理想的な選択肢です。その洗練された技術と高度な安全機能は、薄膜蒸着ニーズに効率的かつ効果的なソリューションをユーザーに提供します。