中古 PERKIN ELMER Randex 3400 #9115270 を販売中

PERKIN ELMER Randex 3400は、さまざまな半導体製造アプリケーションで使用するために設計された高性能スパッタリング装置です。基板に各種材料の均一で一貫した薄膜コーティングが可能です。自動スパッタレート制御やオンボードウェーハ径プログラミングなど、大量生産に最適なユニークな機能を多数搭載しています。ユニットのコアは、反応性と非反応性の両方のコーティングを可能にする単極パルスDCスパッタリング源です。高出力源は、広範囲の基板にわたって高いスパッタ率を維持することができ、過剰な損傷から保護するためにアークシールドを装備しています。Randex 3400は、高度なデュアルモードランプ制御マシンを使用して、スパッタ速度を自動的に最適化し、最大精度の薄膜生産を実現します。Peak Power Monitorを搭載し、ソースの性能を継続的に監視し、高品質の薄膜を一貫して確保します。高度なピーク電力調整ツールにより、コーティング分野の小さなバリエーションが迅速かつ正確に調整されます。このアセットには、均一で安定したパルス出力のための熱安定性の高いカソード設計、高温でも安定したスパッタ速度を維持するための高温ベーク可能なシールド設計など、多くの高度な機能が含まれています。また、大容量クライオポンプと大容量ロードロックを搭載し、ウェーハの積載性を向上させています。PERKIN ELMER Randex 3400は、要求の厳しい半導体製造の要件を満たすように設計されています。最高の性能を発揮するため、自動的に電源を制御することで高精度なコーティングを実現し、均一で一貫した薄膜を実現します。また、高い信頼性と耐久性を備え、コンパクトな設置面積と低コストの運用を可能にします。その柔軟性と性能により、半導体製造のニーズに最適です。