中古 PERKIN ELMER / RANDEX 3140 #9247279 を販売中

PERKIN ELMER/RANDEX 3140スパッタリング装置は、望ましい材料の薄膜を基板に堆積させるために設計された高品質のスパッタリングシステムです。スパッタ成膜の制御を促進するデュアルマグネトロンユニットで、光学部品のコーティング、ラボオンチップデバイス、データストレージ、ディスプレイ、材料分析など、精度を必要とするアプリケーションに最適です。RANDEX 3140モデルは直径13インチの真空チャンバーを備えており、12インチまでの幅広い基板に適しています。PERKIN ELMER 3140は、幅広い動作圧力と蒸着速度を提供します。プラズマ強化化学蒸着、反応スパッタ蒸着、物理蒸着技術による薄膜蒸着に最適で、高い蒸着速度で良好な接着性、均質性、均一性を有する高品質な膜を製造することができます。この機械は高精度のコントローラで駆動され、DCとRFの電力、RF周波数、スパッタリング圧力を正確に最適化し、均一な薄膜蒸着を実現します。3140はまた、ユーザーが堆積プロセスをカスタマイズし、完成したフィルムのターゲットプロパティを最適化することができ、操作パラメータの多種多様を備えています。さらに、PERKIN ELMER/RANDEX 3140には、スピントプロセス中の利便性と精度のための自動ウェーハ処理ツールも含まれています。これには、センサーやシャットオフシステムなどの調整可能な安全機能が含まれており、ウェーハがチャンバーに存在する場合にスパッタを停止します。RANDEX 3140には、ガス抜きやスパッタリングプロセスを開始するための電気赤外線発熱体も付属しています。PERKIN ELMER 3140スパッタリングアセットは、望ましい材料の薄膜を基板に堆積させるための優れたツールです。精密に調整可能なパラメータと機能を提供し、薄膜蒸着アプリケーションの成功を確実にする高品質の統合スパッタリングモデルです。使いやすいコントローラ、直感的な安全機能、自動ウェーハ処理装置は、成膜パラメータを優れた制御を提供し、ユーザーは優れた接着性、均質性、均一性を備えた高品質のフィルムを作成することができます。