中古 PERKIN ELMER 8567 #9184892 を販売中

PERKIN ELMER 8567スパッタリング装置は、表面処理、薄膜成膜、真空コーティング用途に使用される高度なツールです。このシステムは、マルチターゲットデュアルカソード惑星スパッタコーター、1600W DC電源、コントローラ、真空チャンバーで構成されています。デュアル陰極スパッタリングユニットは、ターゲット位置、スパッタリング電力、チャンバー圧力、スパッタガス流量などのプロセスパラメータを完全に制御します。これらのパラメータを使用すると、ユーザーは薄膜成膜の膜厚、表面積、均一性、およびその他のパラメータを変化させることができます。ターゲットの「ダークスポット」であるイオン源により、沈着前の表面の効率的なイオン洗浄が可能です。単位の非常にプログラム可能なコントローラーはプロセス変数の連続的な監視を可能にする自動化されたプロセス監視機械が望ましい表面の準備および沈殿プロセスのための調理法をセットアップするのに使用することができます。このツールは、酸化物や窒化物層の堆積などの反応スパッタリング処理に使用できる独自の内部反応プラズマ源を備えています。反応プラズマ源により、高品質なフィルムを追加設備なしで成膜することができます。アセットの真空チャンバーには、高効率の低騒音ターボ分子ポンプと、機械クランプによる基板加工用のロボットアームが装備されています。ロボットアームは高精度であり、ウェーハや基板を蒸着プロセスの正確な位置に正確に配置するために使用できます。また、ガスブレンダー、UV-ODEソース、ターボゲージなど、さまざまな成膜技術に使用できるアクセサリーも豊富に取り揃えています。8567スパッタ装置は、薄膜成膜および表面処理用途向けの非常に強力で信頼性の高いツールです。プロトタイピングや研究用途に最適で、表面特性の正確な制御と幅広いプロセス能力を提供します。