中古 PERKIN ELMER 4450 #9251060 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 9251060
Sputtering system
(3) DELTA Targets and etch
Used for thin silicon R&D tri metal (Ti ,Ni, Ag)
Spare parts:
Qty / Part number/ Description
(3) / PES-120-018-000 / O Ring BS259
(7) / PES-120-018-000 / O Ring BS259
(5) / PES-120-018-000 / O Ring BS259
(3) / PES-120-019-000 / O Ring BS214 Viton
(6) / PES-120-121-000 / O Ring BS222 Viton
(2) / PES-120-144-000 / Switch micro (BA-2RV22T)
(4) / PES-121-165-000 / Circlip - External 1/2"
(1) / PES-121-189-200 / Circlip - External 1/4"
(4) / PES-121-381-400 / O Ring BS426 Viton
(10) / PES-121-392-000 / O Ring BS252 Viton
(8) / PES-121-392-000 / O Ring BS252 Viton
(20) / PES-121-394-500 / O Ring BS116 Viton
(7) / PES-121-395-300 / O Ring BS210
(2) / PES-121-395-800 / O Ring BS234
(7) / PES-121-396-700 / O Ring BS266
(3) / PES-121-396-900 / O Ring BS268
(2) / PES-121-401-400 / Belt timing 100 Xl
(2) / PES-121-411-600 / Bearing
(1) / PES-121-412-500 / Bracket
(1) / PES-121-412-600 / Bracket
(9) / PES-121-420-400 / O Ring BS131
(1) / PES-121-420-400 / O Ring BS131
(2) / PES-121-423-900 / O Ring BS272
(10) / PES-121-423-900 / O Ring BS272
(2) / PES-121-424-000 / O Ring BS278
(9) / PES-121-424-000 / O Ring BS278
(1) / PES-121-425-700 / Circlip internal 2"
(1) / PES-121-430-000 / Circlip internal 2 3/4"
(1) / PES-121-430-800 / FAFNIR KP33B Bearing ball
(1) / PES-121-432-400 / Ring retaining 2 1/8"OD
(1) / PES-121-947-100 / Resistor assy 15K Ohm
(2) / PES-121-964-910 / Bearing (204NPD) W-2Z
(8) / PES-122-026-600 / Fuse-1/8 Amp (1"x1/4")
(2) / PES-122-074-500 / Switch push button
(2) / PES-122-082-500 / Capacitor-WBR+1000-35
(2) / PES-122-142-800 / I.C 74C76
(1) / PES-122-142-900 / I.C 74HCT10
(1) / PES-122-148-500 / DAYCO 150L050 timing belt
(1) / PES-122-154-200 / Motor stepper 120 Volt
(5) / PES-122-165-900 / O Ring BS128
(2) / PES-122-165-900 / O Ring BS128
(2) / PES-122-165-900 / O Ring BS128
(1) / PES-122-202-400 / I.C 74HCT00
(100) / PES-122-202-500 / CD74HCT04E - IC (Farnell 381-081)
(2) / PES-122-245-600 / POTTER&BROOMFIELD Relay 115V
(5) / PES-122-267-500 / Washer steel 1 1/4OD x 3/4ID x 1/8
(2) / PES-122-268-400 / Capacitor variable 20-500 uF
(1) / PES-122-275-600 / I.C MCA 22312 (4N32 Equiv)
(1) / PES-122-283-790 / Switch toggle Op (C&K 7415)
(2) / PES-132-101-200 / Choke (Ohmite Z-7)
(1) / PES-132-509-300 / Timer (Syracuse DDR-00305)
(1) / PES-133-223-000 / Capacitor 500 mF 25VDC
(2) / PES-133-272-100 / Capacitor 500M 6Kv 25V
(2) / PES-134-021-200 / Rheostat 15K (Ohmite 4202 15000)
(1) / PES-134-354-000 / Resistor assy 3K
(1) / PES-134-402-000 / Resistor assy 33K
(1) / PES-134-403-000 / Resistor assy 100K
(1) / PES-134-407-000 / Resistor assy 5.6K
(1) / PES-134-951-500 / Resistor 22.5K
(2) / PES-135-444-400 / Switch rocker Op (C&K 7201)
(2) / PES-135-445-500 / Strip grounding
(2) / PES-135-921-200 / Head relay brd 24 V AC .K3
(2) / PES-135-921-900 / Relay 120V AC (Sigma78Re1)
(1) / PES-135-922-000 / Relay 28V DC / 120V AC
(1) / PES-135-928-200 / POTTER&BRUFIELD Khu17D11 Relay
(2) / PES-136-300-400 / Ring PTFE 1/4" ID
(2) / PES-136-634-000 / Transistor 2N1559
(2) / PES-139-003-000 / Insulator ceramic
(5) / PES-139-008-700 / Insulator ceramic
(3) / PES-139-008-700 / Insulator ceramic
(1) / PES-139-008-800 / Insulator ceramic
(1) / PES-178-146-000 / Motor 7RPM 120 Volt
(5) / PES-179-632-000 / Fuse (Buss GMA1O) 3/16 x 3/4
(1) / PES-220-965-000 / Clamp bar
(2) / PES-220-965-100 / Clamp bar
(1) / PES-221-079-300 / Block S/S 1" X 4 1/2" X 1/4"
(2) / PES-221-177-600 / PCB LN2 control
(3) / PES-221-180-200 / Switch rocker Op (Micro4TPL-7)
(1) / PES-221-274-900 / Gasket
(1) / PES-221-279-500 / Assembly feed through
(1) / PES-221-279-900 / Flange transport drive assy.
(1) / PES-221-281-500 / Assembly Feed Through
(2) / PES-221-296-100 / Water feed through
(6) / PES-221-340-900 / Strip grounding
(1) / PES-221-582-900 / PCB Filter board
(1) / PES-2E26 / Beam amplifier
(1) / PES-500-579-500 / Seal assy 1 5/8" OD
(1) / PES-500-585-400 / Bellows 1 1/2" Valve
(2) / PES-500-827-700A / Bellows Assy
(1) / PES-6AG7 / Receiving tube
(3) / PES-721-369-000 / Transformer
(5) /PES-721-384-000 / Washer fibre 1/2"OD X 1/8"ID
(10) / PES-AM33K3 / Bearing - Inner door
(5) / PES-B221-210-000 / Clip heater
(1) / PES-B221-462-700 / Motor Stepper 120 Volt
(1) / PES-D220-948-700 / Valve bellows 2"
(2) / PES-MI-100-KF / Gauge Ion-Mi-100-Kf.
PerkinElmer PERKIN ELMER 4450は、薄膜製造プロセスにおける金属および誘電膜の堆積用に設計されたスパッタ装置です。それは両方の世界のベストを提供します。業界標準のツインガン陰極スパッタリング源と誘電体フィルムの非常に均一な蒸着のためのユニークな二重幅ノズル源。このシステムは、8インチの直径までのウェーハに高精細で優れた均一性を持つ金属または誘電材料の層を堆積することができます。PerkinElmer 4450は、真空チャンバー、電源、および高周波（HF）発電機で構成されています。連続スパッタリングとパルススパッタリング、リアクティブイオンモードスパッタリング（RIMS）、異なる材料をデュアル分離源から同時に蒸着させるなど、多種多様なプロセスをサポートしています。このユニットは、2つのソースに対応することができます-特定の位置ツインガン陰極スパッタリング源と誘電フィルム用の二重幅ノズル源。源の電圧および力は調節可能で、沈殿率およびフィルム厚さの制御を可能にします。PerkinElmer PERKIN ELMER 4450の高度な電源は、各ソースに独立したプログラム可能な電源設定を提供し、さらにプロセスの最適化を可能にします。また、最大8つのウエハを積み降ろすためのリフトツールを備えたサンプルホルダーを備えており、直径200mmまでのウエハに対応できます。サンプルホルダーの動作はアクチュエータによって制御され、1ミクロン以上の位置再現性があります。ホルダーは、回転（CWおよびCCW）することができ、毎分最大395回転で-10から+10°の範囲で傾くことができます。また、オートフォーカスセンサーと現場の水晶モニターを搭載し、正確な膜厚制御を実現しています。最後に、PerkinElmer 4450には、チャンバー、ソース、ウェーハホルダーの緊急停止やインターロックなどの多くの安全機能が含まれています。このモデルは、制御された環境での半導体処理のために設計されています。高いレベルのプロセス再現性を維持し、スパッタ粒子と背景汚染を低減するために、装置はプロセスガス、窒素または他のガスでパージすることができます。要約すると、PerkinElmer PERKIN ELMER 4450は高度で高精度なスパッタリングシステムで、プロセスの再現性と精度の高い均一な薄膜蒸着を提供するように設計されています。現場での水晶モニターと自動焦点センサーにより、重要なフィルムパラメータを簡単かつ正確に制御できます。また、統合された安全対策により、信頼性の高いプロセス最適化が可能です。
まだレビューはありません