中古 PERKIN ELMER 4450 #9113778 を販売中

PERKIN ELMER 4450は、薄膜成膜用に設計されたスパッタリング装置です。このシステムには、単一の源マグネトロンスパッタと電子ビーム蒸発が含まれています。スパッタ源は直径16インチで、ステンレスターゲット、グラファイトアーマチュア、マグネット電源で構成されています。蒸発源には3つの加熱ユニットがあり、それぞれに電子ビーム蒸発用の加熱フィラメントを備えたフィラメント電源が装備されています。このユニットは、プロセスを制御するための多数の制御可能なパラメータを提供します。スパッタ電源、フィラメント電源、ターゲットと基板の間の距離、および電流とバイアスをすべて調整できます。蒸発源は、個別に操作することができ、直列または並列に使用することができる3つの個別の加熱ユニットで構成されています。加熱ユニットおよび幾何学的構成への電力も調整できます。機械は過熱を防ぐために安全特徴と設計されています。従来のほとんどのタイプの真空ポンプを受け入れるように設計されており、温度センサ、圧力センサ、真空ライン、LEDディスプレイ、および制御ボードが装備されています。また、標準のEthernet接続を使用してリモートで操作することもできます。標準のスパッタツールに加えて、4450にはいくつかのオプションのアクセサリーも付属しています。スパッタコーター、基板加熱素子、基板支持資産などがあります。スパッタコーターは均一な速度で均等に材料をスパッタするように設計されていますが、蒸発中に基板発熱体がチャンバー全体の均一な温度を維持するのに役立ちます。基板サポートモデルは、基板の正確なアライメントと設置を提供し、正確な薄膜蒸着を可能にします。PERKIN ELMER 4450は、薄膜用途の成膜用に設計された信頼性の高い効率的なスパッタリング装置です。その汎用性により、誘電性、有機性、金属薄膜蒸着など、さまざまな用途に適しています。その多数の制御機能は、プロセスを正確に操作することができます、オプションのアクセサリーの様々な追加の柔軟性を提供しながら、。