中古 PERKIN ELMER 4450 #153442 を販売中

PERKIN ELMER 4450は、半導体業界の材料の物理蒸着（PVD）に使用されるスパッタリング成膜装置です。ターンキーローディングとアンロード機能を備えた2つのスパッタチャンバーと専用の基板ホルダーアセンブリを備えたモジュラーシステムです。4450はすべての機械情報を表示するプロセス監視タッチスクリーンインターフェイスによって制御される完全に自動化されたスパッタリングユニットです。ロボットローディングとアンロードにより、迅速で一貫した基板転送が可能です。このツールには、繰り返し可能で信頼性の高い動作を保証するための自動掃除とメンテナンスサイクルも含まれています。PERKIN ELMER 4450には、電子ビームガン、3つの平面磁気プラズマスパッタリングガン、および垂直磁気プラズマ源の5つのスパッタリング源が装備されています。電子ビームガンは非常に均一な薄膜堆積物を噴霧し、磁気プラズマ源はより大きな領域の厚膜アプリケーション用に設計されています。電子ビームガンのスポットサイズは5mmで、高精度な高分解能成膜が可能です。4450は、高度なスパッタ蒸着とダイナミックイオンビームエッチング技術を使用しています。これにより、ウェーハ、チップ、基板などの基板に複雑で正確なレイヤリングパターンを適用することができます。基板温度は室温から400°Cまで調節可能で、様々な材料蒸着が可能です。アルゴン、酸素、窒素などのスパッタリング工程では、さまざまなガスが使用されています。それらはチャンバーで充電され加熱され、次にイオンの形で基板に向かって加速されます。イオンが基板に当たると、ターゲット材料が基板からスパッタされたり、吹き飛ばされたりします。これにより、表面に薄膜が形成されます。PERKIN ELMER 4450は、さまざまなPVDアプリケーションに適した信頼性の高い効率的なスパッタリング資産です。自動化されたプロセス、正確な蒸着能力、信頼性の高い操作により、さまざまな産業および研究アプリケーションに貴重な付加価値があります。