中古 PERKIN ELMER 4410 #9201791 を販売中

ID: 9201791
ウェーハサイズ: 8"
Sputtering system, 8" Wafer loading: Manual With load lock Cathodes: Delta shape, 3 max Sputter methods: RF / DC Diode / MAGNETRON Gas lines: 1~3 MFC Options: Gas lines with MFC N2 O2 Customized Lamp tower alarm with buzzer: Mechanical pump / Dry pump for process chamber and load lock Independent mechanical pump / Dry pump for process chamber Chiller for cooling plates and table Turbo pump for load lock Load lock lamp heating function: Up to 200°C Chamber lamp heating function: Up to 300°C Plasma etch function Bias function Co sputter function Reactive sputter function Main frame 28" Diameter SST chamber top plate with ports and cathodes: Configuration 4400 4410 / 4450 Cathode shape Circle Delta Cathode size 8" Delta Cathode quantity 1 to 4 1 to 3 Sputter power supply: 4400 4410 / 4450 DC Power 5 kW 5 kW / 10 kW RF Power 1kW / 2kW 2 kW / 3 kW Pulse DC Power 5 kW 5 kW / 10 kW Process chamber: 8" Diameter x 12" High stainless steel cylinder with 6" CF Flange view port and load lock port 28" Diameter stainless steel base plate 11/2" Air operated roughing isolation valve Air operated gas inlet valve Air operated vent valve 11/2" Blanked-off leak check port Removable deposition shields 23" Diameter, 3-position water cooled annular substrate Table with variable speed motorized table drive Full circle shutter and vane shutter Chain drive pallet carrier transport Heavy duty electric hoist Load lock: 30" x 28" x 8" Stainless steel load lock chamber Aluminum cover Chain drive pallet carrier transport 2" Air operated roughing isolation valve Air operated vent valve 23" Diameter molybdenum annular substrate pallet Elevator for pallet up and down function Vacuum systems for process chamber: (2) Stage cryo pumps With 1000 l/s pumping speed for air Includes: Chevron Water cooled compressor and lines Automatic regeneration controller Plumbing kit, 71/2" Aluminum air operated gate valve: 6" ASA Air operated venetian blind throttling valve Mechanical pump or dry pump for process: 36.7 Cfm Chamber and load lock Replaced obsolete controls: Auto pump down controller Load lock controller Digital clock timer Table raise / Lower control Throttle valve control system Pressure control system Sputter head controls Gas line with MFC Ar, 200 SCCM, customized Power box: AC 380 V / 208 V / 3 Phase.
PERKIN ELMER 4410は非常に汎用性の高い機能セットで設計されたスパッタリング装置で、電気、マイクロエレクトロニクス、半導体アプリケーションに人気のある選択肢です。この高性能システムは、2つの主要コンポーネントで構成されています。スパッタガンと制御と電源コンポーネントを収容する統合シャーシ。4410の中心にあるスパッターガンは、40〜350ワットの調整可能な電源を備えています。これにより、ユーザーは現在のプロジェクトまたはアプリケーションのニーズに合わせてユニットの堆積率を調整することができます。さらに、スパッタガンの設計は非常にモジュール化されており、蒸発、マグネトロン、ダイオード設計など、さまざまなスパッタリングターゲットを使用することができます。PERKIN ELMER 4410の統合シャーシは、制御とすべての電源コンポーネントが存在する場所です。制御ユニットは、手動モードのオプションと同様に、自動化された操作を容易にします。これには、圧力や温度などのパラメータを指定できるプログラム済みの動作コースと、スパッタリングプロセスを微調整する手動操作が含まれます。パワーユニットは、入力AC電源をスパッタガンに必要なDC電源に変換するために必要な多数のトランスと整流器で構成されています。4410はクリーンルーム型の環境で使用されるように設計され、安全を念頭に置いて設計されています。緊急時の機械の迅速なシャットダウンを可能にするための緊急シャットオフボタンが含まれており、その排気は危険物の最小限の露出を確保するために外部に排気されています。要約すると、PERKIN ELMER 4410は、優れた制御およびパワーコンポーネントを備えた汎用性の高い高性能スパッタリングツールであり、さまざまな産業および研究関連アプリケーションで使用することができます。それは例外的な安全のために設計され、モジュラースパッターガンと統合された制御で、ユーザーは現在のプロジェクトの正確なニーズのために自分の資産をカスタマイズするための安心感を持っています。
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