中古 PERKIN ELMER 4410 #9201791 を販売中
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ID: 9201791
ウェーハサイズ: 8"
Sputtering system, 8"
Wafer loading: Manual
With load lock
Cathodes: Delta shape, 3 max
Sputter methods: RF / DC
Diode / MAGNETRON
Gas lines: 1~3 MFC
Options:
Gas lines with MFC
N2
O2
Customized
Lamp tower alarm with buzzer:
Mechanical pump / Dry pump for process chamber and load lock
Independent mechanical pump / Dry pump for process chamber
Chiller for cooling plates and table
Turbo pump for load lock
Load lock lamp heating function: Up to 200°C
Chamber lamp heating function: Up to 300°C
Plasma etch function
Bias function
Co sputter function
Reactive sputter function
Main frame
28" Diameter SST chamber top plate with ports and cathodes:
Configuration 4400 4410 / 4450
Cathode shape Circle Delta
Cathode size 8" Delta
Cathode quantity 1 to 4 1 to 3
Sputter power supply:
4400 4410 / 4450
DC Power 5 kW 5 kW / 10 kW
RF Power 1kW / 2kW 2 kW / 3 kW
Pulse DC Power 5 kW 5 kW / 10 kW
Process chamber:
8" Diameter x 12" High stainless steel cylinder with 6"
CF Flange view port and load lock port
28" Diameter stainless steel base plate
11/2" Air operated roughing isolation valve
Air operated gas inlet valve
Air operated vent valve
11/2" Blanked-off leak check port
Removable deposition shields
23" Diameter, 3-position water cooled annular substrate
Table with variable speed motorized table drive
Full circle shutter and vane shutter
Chain drive pallet carrier transport
Heavy duty electric hoist
Load lock:
30" x 28" x 8" Stainless steel load lock chamber
Aluminum cover
Chain drive pallet carrier transport
2" Air operated roughing isolation valve
Air operated vent valve
23" Diameter molybdenum annular substrate pallet
Elevator for pallet up and down function
Vacuum systems for process chamber:
(2) Stage cryo pumps
With 1000 l/s pumping speed for air
Includes:
Chevron
Water cooled compressor and lines
Automatic regeneration controller
Plumbing kit, 71/2"
Aluminum air operated gate valve: 6" ASA
Air operated venetian blind throttling valve
Mechanical pump or dry pump for process: 36.7 Cfm
Chamber and load lock
Replaced obsolete controls:
Auto pump down controller
Load lock controller
Digital clock timer
Table raise / Lower control
Throttle valve control system
Pressure control system
Sputter head controls
Gas line with MFC
Ar, 200 SCCM, customized
Power box: AC 380 V / 208 V / 3 Phase.
PERKIN ELMER 4410は非常に汎用性の高い機能セットで設計されたスパッタリング装置で、電気、マイクロエレクトロニクス、半導体アプリケーションに人気のある選択肢です。この高性能システムは、2つの主要コンポーネントで構成されています。スパッタガンと制御と電源コンポーネントを収容する統合シャーシ。4410の中心にあるスパッターガンは、40〜350ワットの調整可能な電源を備えています。これにより、ユーザーは現在のプロジェクトまたはアプリケーションのニーズに合わせてユニットの堆積率を調整することができます。さらに、スパッタガンの設計は非常にモジュール化されており、蒸発、マグネトロン、ダイオード設計など、さまざまなスパッタリングターゲットを使用することができます。PERKIN ELMER 4410の統合シャーシは、制御とすべての電源コンポーネントが存在する場所です。制御ユニットは、手動モードのオプションと同様に、自動化された操作を容易にします。これには、圧力や温度などのパラメータを指定できるプログラム済みの動作コースと、スパッタリングプロセスを微調整する手動操作が含まれます。パワーユニットは、入力AC電源をスパッタガンに必要なDC電源に変換するために必要な多数のトランスと整流器で構成されています。4410はクリーンルーム型の環境で使用されるように設計され、安全を念頭に置いて設計されています。緊急時の機械の迅速なシャットダウンを可能にするための緊急シャットオフボタンが含まれており、その排気は危険物の最小限の露出を確保するために外部に排気されています。要約すると、PERKIN ELMER 4410は、優れた制御およびパワーコンポーネントを備えた汎用性の高い高性能スパッタリングツールであり、さまざまな産業および研究関連アプリケーションで使用することができます。それは例外的な安全のために設計され、モジュラースパッターガンと統合された制御で、ユーザーは現在のプロジェクトの正確なニーズのために自分の資産をカスタマイズするための安心感を持っています。
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