中古 PERKIN ELMER 4410 #9068937 を販売中
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PERKIN ELMER 4410は、幅広い用途向けに設計された強力なスパッタリング装置です。その高度なスパッタリング技術は、ユーザーに大きな基板上の材料の正確な堆積を正確かつ均質な方法で提供します。このシステムは、目的の基板領域にソリッドフィルムを堆積するために使用されるAutoDrop IIIなど、さまざまなコンポーネントで構成されており、可変厚の基板コーティングが可能です。このユニットには、蒸着パラメータを正確に制御および監視する自動蒸着機であるマスローダーも含まれています。4410には、均一で均質なスパッタプロファイルを作成するマルチチャネルRFスパッタカソードが装備されており、大きな基板領域上の材料の均一で効率的な堆積を可能にします。このツールは、金属ターゲットと誘電ターゲットの両方をさまざまな用途にスパッタする機能を備えています。スパッターカソードには、調整可能な圧力と可変電力設定があり、ユーザーが蒸着速度を制御することができます。アセットは適応性が高く、金属、プラスチック、複合材料、誘電体など幅広い基板タイプに対応できます。また、複数のターゲットを順番にスパッタする機能を備えており、複雑な材料の層を堆積させることができます。パルスプラズマ技術を一体化したこのモデルは、優れた接着性と接触抵抗を備えた高品質のフィルムを作成することができます。PERKIN ELMER 4410には、基板の直接導入と除去を可能にするアダプティブロードロックチャンバーがあり、プロセスの柔軟性とスループットを向上させます。その追加の安全機能により、クリーンルーム環境に適しています。さらに、4410には、圧力、温度、基板面積、電圧、電流などに関するリアルタイムの更新をユーザーに提供するデジタルディスプレイがあります。このシステムは中規模から大規模生産に最適で、さまざまな材料のスパッタ蒸着を効率的かつ信頼性の高い方法で実行できます。
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