中古 PERKIN ELMER 4400 #9283424 を販売中

PERKIN ELMER 4400は薄膜成膜用スパッタ装置です。金属、合金、セラミックス、ポリマーなど、さまざまな材料を堆積させるために使用できる多目的スパッタリングステーションです。さまざまな基板上で高品質の光学、電気、半導体コーティングを製造するのに最適です。このシステムは2つの独立した高真空チャンバを備えており、2つの異なる基板に同時に蒸着することができます。このユニットは、直径8インチまでの基板を扱うことができ、0。5nmから2µmまでの厚さの範囲の超薄膜を作成することができます。最適な真空レベルに素早く簡単に到達することができ、回転する円形カソードは、大面積の基板上の均一な堆積を保証します。4400は、DCマグネトロンスパッタリングシステムを使用して、非常に精密で均一な薄膜を作成することができます。2つの独立した電源は、最大2000ワットの総電力を生成することができ、蒸着速度を正確に制御できます。スパッタリングプロセスの微調整を可能にする調整可能な二次電子電流（SEC）を使用して、高レベルのプロセス制御を実現できます。内蔵のディスプレイフィードバックマシンは、総イオン電流、SEC電流、ウェーハ検出器、ターゲットホルダー温度、基板温度などの重要なパラメータに関する瞬時の測定フィードバックを提供します。また、内蔵コントローラはバイアス電圧、シャッターおよびクローズ、ガス入口などを正確に制御します。結論として、PERKIN ELMER 4400は、さまざまな用途で高品質の薄膜を作成するために使用される高度な多目的スパッタリングツールです。その2つの独立した駆動チャンバ、内蔵ディスプレイフィードバック、調整可能なSEC電流およびその他の機能により、大面積の基板上の材料の精密なプロセス制御と均一な蒸着が可能です。