中古 PERKIN ELMER 4400 #9242647 を販売中

PERKIN ELMER 4400は、半導体、絶縁体、金属などのさまざまな基板に幅広い材料を堆積するのに役立つスパッタリング装置です。このシステムにより、ユーザーは高度なナノ構造の開発のための特定の厚さの正確な層を作成することができます。これに加えて、マルチマテリアルおよびマルチレイヤーデバイスの製造にも使用できます。基板加熱と蒸発用の2基のEビーム砲を装備しています。4400は高精度のプロセス制御機能を備えています。高電力パルスDCスパッタリング、リアクティブスパッタリング、低電力DCスパッタリングなど、幅広いプロセスを提供します。フィルムの厚さは、スパッタリングプロセス中のプロセス制御パラメータと動作パラメータによって正確に制御することができます。また、再現性と信頼性の高い結果を確保するための標準的なレシピの範囲を提供しています。PERKIN ELMER 4400の設計は、ロードロックドア用の平面を備えた円筒形のチャンバーで構成されています。このマシンは、300mmウェーハまで斜めに1つの3インチウェーハの積載能力を提供します。プロセスチャンバー内には、マグネトロン源と高付加価値パワーカップリングがあり、基板の効率的なコーティングが可能です。このツールには、最大4000 RPMの回転速度を達成できるプログラム可能な回転器も含まれています。これは、大きな基板に薄膜を空間的に均一に堆積させるのに役立ちます。この機能により、プロセスの均一性と再現性が向上します。4400アセットはまた、層の不純物、インクルージョン、および非均一性を検出するための光放射分光法を利用しています。これは、フィルムの材料沈着速度、厚さ、および組成を測定するのに役立ちます。プロセスチャンバー内の温度は、統合されたセンサーによって監視され、窒素パージ制御により、クリーンな蒸着背景が保証されます。このモデルはまた、堅牢なMFCベースのモーター制御を提供します。装置は回転装置、ドア、ドライブ、動力源および冷却装置のような異なった部品を制御するのに使いやすいGUIを特色にします。PERKIN ELMER 4400は、幅広い用途に適した信頼性と効率性を備えています。また、耐久性のある構造で設計されています。