中古 PERKIN ELMER 4400 #9023631 を販売中

PERKIN ELMER 4400は、研究開発用の薄膜成膜に一般的に使用されるスパッタリング装置です。メインチャンバーにターゲットを配置し、半導体ウェーハ、太陽電池、ディスプレイなどの基板をセカンダリチャンバーに収納する2チャンバー構成を採用しています。スパッタリングユニットは、温度、圧力、電圧、RFおよびDCパワー、パルス時間、パルス周波数、およびパルス幅などのスパッタリングパラメータを高精度に制御します。これにより、均一な厚さと形態を持つ基板の均一で一貫したコーティングが可能になります。また、デュアルカソード動作用に構成することができ、2つの材料を一度に堆積させることができます。4400は高度なオートメーション機能を備えています。コンピュータ制御のロボットアームには、積み下ろし時に基板を検出できる高度な視覚認識ソフトウェアが搭載されています。これにより、手動で介入することなく、基板を効率的にチャンバ内へと搬出できるため、スループットが向上します。このツールはまた、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を提供しており、スパッタリングプロセスを簡単に制御および監視できます。Ethernet接続を介してリモートで操作でき、プロセスレシピを保存することができます。これは、大規模な生産実行に特に便利です。さらに、このアセットは独立したプロセス制御を備えており、スパッタガスの攪拌速度と方向を調整することができます。PERKIN ELMER 4400は、半導体デバイス製造、バッテリー、ソーラーパネルおよびディスプレイ製造、データストレージ、光フィルター製造など、幅広い用途に対応しています。このモデルは、多層フィルムなどのカスタムコーティングを可能にするのに十分な汎用性があり、レイヤー間の優れた寸法制御、接着、および連続性を備えています。スタンドアロン装置として使用されるか、または完全な生産ラインに統合されるかどうか、4400は信頼でき、有効なスパッタの沈殿を提供します。スパッタリングパラメータの精密制御、高度なオートメーション、ユーザーフレンドリーなインターフェースなど、最先端の技術を組み合わせることで、研究や生産のニーズに最適なソリューションです。