中古 PERKIN ELMER 4400 #42927 を販売中

PERKIN ELMER 4400は、精密サンプル調製用に特別に設計されたハイスループットスパッタリング装置です。高品質の薄膜の製造に適しており、特に金属、金属合金、酸化物の沈着などの先進的な産業用途や、各種基板上の半導体の製造に適しています。このスパッタリングシステムには強力な18kW電源が搭載されており、2。5nm/minまでの材料を基板表面に堆積させることができます。ターゲットホルダーは、最大5種類のターゲットに簡単に対応できるように設計されています。さらに、洗練されたシャッターメカニズムにより、サンプル領域全体に均一な堆積が保証され、自動的なターゲット交換と空気や大気への最小限の露出が可能です。スパッタリング処理は、囲まれた磁気シールドされたチャンバー内で行われ、標的表面からの迷子電子を防ぎます。これにより、成膜の均一性と優れたフィルム品質が得られます。自動化されたプログラム可能なバッチ制御ユニットとリアルタイム表面X線分光表面制御により、蒸着時間、電流、温度、圧力などのパフォーマンスパラメータを監視し、調整可能なスパッタリングプロセスの簡単な操作と制御が可能です。機械は金属、金属合金および酸化物の沈殿のためによく適しています、アルミニウム酸化物のような、金、酸化チタン、酸化タンタルおよび等。アングル基板チャックや石英蛇行ユニットなど、様々な成膜アクセサリーを搭載しているため、難易度の高い基板への成膜が可能です。さらに、高度なスパッタヘッドにより、ウェーハまたは可変サイズおよび形状のパネルのハイスループット生産が可能です。4400は優れた性能と多数の高度な機能を提供し、ユーザーは最小限の時間で優れた均一性を備えた極めて薄いフィルムを製造することができます。それは商業および産業目的のための理想的なスパッタリングツールです。