中古 PERKIN ELMER 2400 #9283811 を販売中
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PERKIN ELMER 2400は、様々な金属および絶縁膜の再蒸着に適した高出力および高スループスパッタ蒸着装置です。さまざまな基板上に均一で高品質な薄膜コーティングを製造するために設計されており、反応スパッタ蒸着のための複数のターゲットが用意されています。このシステムは、RF(無線周波数)電源を使用して最大2kWのスパッタリング電力を供給し、直径8インチまでのサンプル基板に対応できます。金属、セラミックス、シリケート、炭化物などの先端材料の薄膜コーティングおよび成膜に最適です。2400は、1回に最大4つの異なる材料を処理することができ、平均蒸着速度は1秒あたり約1〜10 Angstromsです。このユニットは、アルゴン、酸素、および窒素ガス混合物を使用して、スパッタ蒸着プロセスの前に目標湿度レベルを達成します。PERKIN ELMER 2400は、化合物形成用の反応スパッタ成膜も可能です。その高いスループットにより、ユーザーは他のシステムよりも高い精度と歩留まりを持つ異種フィルムの複数の層を迅速に生成することができます。このマシンには、複数のスパッタカソード、ターゲット、およびマグネットマウント部品が装備されています。これにより、ユーザーはさまざまな堆積構成を構成および利用することができ、より効率的な生産のためのより高いスループットを可能にします。2400はまた、平面、ラジアル、モジュラー、および自動化されたシステムを含むチャンバー構成の広い範囲を備えています。これらのすべての機能は、さまざまなアプリケーションに対応する多目的でカスタマイズ可能な蒸着機能を提供します。柔軟性と制御性を高めるため、PERKIN ELMER 2400にはプログラマブルPLC (Programmable Logic Controller)が搭載されており、さまざまなプロセスパラメータのツールを簡単に設定できます。PLCはまた、自動開始および停止スパッタリングサイクルを提供します。また、プロセス制御パラメータを使用して、目標位置、出力、ガスの混合量を調整し、最適化された結果を得ることができます。全体的に2400は、高品質、信頼性、均一な薄膜コーティングを必要とするさまざまな用途に理想的なスパッタ成膜資産です。PERKIN ELMER 2400スパッタモデルは、高出力とスループプット機能、および統合されたPLC制御プロセスパラメータにより、ユーザーに望ましい結果を迅速かつ正確に達成する機能を提供します。
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