中古 PERKIN ELMER 2400 #9272966 を販売中
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ID: 9272966
Sputtering system
Round targets, 8"
RF Diode cathodes
RF Generator
Mechanical pump
LEYBOLD 450 Turbo pump.
PERKIN ELMER 2400は、大型基板または複数の小型サンプル上の薄膜を均一にスパッタリングするために設計された高度な物理蒸着(PVD)装置です。このシステムは、研究室と生産室の両方のニーズを満たすように設計された信頼性と費用対効果の高いソリューションです。2400スパッタリングユニットは、表面均一性に優れた薄膜の優れた物理的および電気的特性を保証する直流アンバランスマグネトロン技術に基づいています。これは、温度制御、高濃度比率、および無線周波数などの包括的な堆積パラメータを提供してスパッタリングを強化します。このマシンは、プロセスチャンバー、基板用の6軸マニピュレータ、マグネトロンのクラスタ化されたソース、蒸着材料ソース、冷却ツール、オンボードメトロロジーデバイス、真空サブシステム、およびソフトウェアインターフェイスとユーザーフレンドリーなHMIを備えたコンソールで構成されています。このアセットにより、貴金属、非貴金、合金、酸化物、誘電体など、さまざまな薄膜材料を幅広い厚さで堆積させることができます。これにより、小さな部品から非常に大きな基板まで、複数の基板形状とサイズを選択できます。それは高い区域の均等性および滑らかな表面、また物質的な沈殿の均一な力の密度そして厚さを提供します。また、高いスループットと費用対効果の高い成膜を実現し、1台あたりの低コスト生産率を実現します。PERKIN ELMER 2400は、優れた制御および監視機能を提供します。材料の品質を制御するために不可欠な、堆積膜の厚さを監視することができます。装置は堆積物の組成を監視することもでき、堆積プロセスを完全に制御することができます。さらに、フィルムの厚さ、均一性、温度、RF入力、エッチング率など、ユーザーフレンドリーなコントロールを提供します。また、成膜速度や膜厚の自動制御、成膜速度や基板温度の調整にも使用できます。全体的に、2400スパッタリングマシンは、優れた性能と様々なアプリケーションのための費用対効果の高い薄膜蒸着を提供します。薄膜の均一性に優れ、薄膜の接着性に優れているため、研究・生産設備において信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションとなっています。
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