中古 PERKIN ELMER 2400 #9140537 を販売中

PERKIN ELMER 2400は、主に材料科学分野で使用されるスパッタ装置です。これは、薄膜を基板に堆積させるための強力で汎用性が高く、手頃な価格のツールです。このシステムは、マルチターゲットスパッタ源、真空チャンバー、低温冷却基板段、可変圧力ガスボックス、スパッタガスボックスを含むコンパクトなハウジングで構成されています。真空チャンバーは、圧力レベルの範囲と最大6つのパルス蒸着源を提供します。低温冷却基板ステージは、75x75mmから200x200mmまでのサイズの基板に対応できます。スパッタリングプロセスは、避難/排ガス段階から始まります。これは、沈殿のために約10-4 Torrの圧力にチャンバーをポンピングすることを含みます。次に、抵抗熱段階を使用して基板を所望の温度まで加熱し、スパッタガス混合物をガスボックスを介してスパッタ源に供給します。このガスは、一連の高速DCパルスを使用してチャンバーにパルスされます。これらのパルスは、スパッタ堆積を行うために使用される高エネルギー粒子を作成します。最後に、ユニット内のターゲットに不活性ガスが埋め込まれ、イオン化され、最大10 Killovoltsの電圧で爆撃されます。この爆撃は、ターゲットから材料をスパッタし、基板表面に沈殿させるエネルギッシュな粒子のシャワーを作成します。スパッタ材料は通常、表面の数ミクロン以内に停止しますが、用途に応じて調整することができます。2400は窒化物、酸化物、炭化物、金属合金および誘電性フィルムを含むいろいろ薄膜を沈殿できます。すべてのスパッタリングは、プロセスパラメータが一定である制御環境下で実行され、膜厚と組成を正確に制御できます。このマシンは、電子分光や顕微鏡の様々な形態を含むin situおよびex situ解析技術とも互換性があります。PERKIN ELMER 2400は、精密な制御と幅広い互換性を提供するため、研究施設での薄膜の堆積に最適なツールです。この高度なスパッタリングアセットは、操作が簡単で信頼性が高く、費用対効果が高いため、品質の高いスパッタリングモデルをお探しの方に最適です。