中古 PERKIN ELMER 2400 #293811815 を販売中

ID: 293811815
ウェーハサイズ: 6"
Sputtering system, 6" AE MDX 1K RF Power Generator.
PERKIN ELMER 2400は、高品質で超薄型コーティングを可能にするスパッタリング装置です。PLC (Programmable Logic Controller)によって制御される3軸の基板位置決めテーブル(SPT)を備えた基板転送オプション(STO)で構成されています。STOは、真空を破壊することなく基板をロードおよびアンロードするように設計されています。2400の3軸SPTテーブルは、スパッタリング源に対して任意の角度で基板ターゲットを正確に配置できます。PLCは、SPTテーブルの動きを正確に制御するようにプログラムされています。スパッタリングプロセスが発生するには、アルゴンガス環境が必要です。PERKIN ELMER 2400には、2つのマグネトロン源も装備されています。これらのマグネトロン源は電磁界を利用して、スパッタリングターゲットからコーティング材料の原子を基板表面に取り出すのに役立ちます。放出された原子は電位差によって加速され、その結果基板表面への高速爆撃が起こり、薄膜が形成される。電位差とガス圧力を調整することで、2400は基板上に堆積した薄膜の厚さ、微細構造、組成を制御することができます。この堆積膜は、酸化に対する耐性が高く、信頼性の高い集積回路、MEMS、太陽電池などの深宇宙用途に適しています。PERKIN ELMER 2400は、高品質のコーティングを生産する能力に加えて、多くの安全機能を備えています。これらには、防爆ベース、自動ドアロック、緊急停止スイッチが含まれます。2400の交換不可ガス供給パイプは、アルゴンガス供給が汚染から解放されることを保証します。PERKIN ELMER 2400は、安全でクリーンな作業環境を維持するための循環システムも備えています。2400は、ユーザーに効率的で信頼性の高いスパッタリングサービスを提供するように設計されたユーザーフレンドリーなエンジニアリングユニットです。このスパッタリングマシンは、精密位置決め制御、高品質のコーティング、および高度な安全機能を使用して、品質と安全の両方を保証します。その包括的なスパッタリングサービスは、幅広い業界やアプリケーションに最適です。
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