中古 PERKIN ELMER 2400 #293721276 を販売中
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ID: 293721276
Sputtering system
8F Cryopump
(2) Cathodes, 8"
Cathode, 4"
(10) Wafers substates, 4"
Radio Frequency (RF) power supply.
PERKIN ELMER 2400は精密電子および他の装置製作のための信頼できる解決であるPVDのスパッタリング装置です。このシステムは、高い技術非接触回転マグネトロンにより、さまざまな材料に正確にスパッタすることができます。このスパッタリングユニットは、従来の装置よりもはるかに高速でありながら、依然として高い蒸着速度を維持する生産速度でフィルムを適用するように設計されています。最大加工面積は24 "x 24" x 12"で、45度の角度に平らな長方形のターゲットを使用して、表面全体に均一な堆積を可能にします。機械は連続的な制御されたプロセススパッタ力が可能で、ユーザーは一貫したフィルムで起因するプロセス時間を維持することを可能にします。さらに、このツールは20〜120°Cの調節可能な基板温度範囲を備えているため、さまざまな金属、誘電体、およびプラスチックに最適です。ユーザーフレンドリーなLCDタッチスクリーンは、セットアップと操作パラメータを正確かつ繰り返し可能にするさまざまな制御機能を提供します。これらには、デジタルPID温度制御、AUTOスパッタ電源制御、最大16種類のプロセス一貫性レシピ、チャンバー温度と真空のデジタル読み出し、および自動ガス安全インターロック資産が含まれます。さらに、モデルパラメータをプログラムするために使用される使いやすいプログラミングメニューがあり、ユーザーは機器を特定のニーズに合わせて調整することができます。メンテナンスおよびサービスのために、2400は容易な分解および再組み立てを可能にするモジュール構造を備えています。それは予備品および用具の貯蔵のための規定が付いている便利なサービス引出しを含んでいます。また、コンソール、ポンプ、リモートサービスツールを安全かつ迅速に接続できるクイックカップリング継手を備えた複数のポートを備えています。全体として、PERKIN ELMER 2400は、精密電子機器やその他のデバイスの製造に使用できる信頼性の高いユーザーフレンドリーなスパッタリング装置です。調節可能な基板温度範囲、正確で反復可能なプロセスパラメータ、および簡単なメンテナンスとサービスのためのモジュール構造を提供します。
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