中古 PERKIN ELMER 2400 #293656734 を販売中
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ID: 293656734
Sputtering system
With load lock
Platen optimum, 4.5"-6"
Load lock reduces pump down time
(3) Cathodes diameter, 8"
CT 8F Cryo vacuum station
LEYBOLD D Mechanical pump
RF Generator
Substrate table:
Water-cooled, 8"
Etch / Bias operations:
Up to 1 kW Etch
Variable bias: 0 to 50%
Control and meters:
Manual override toggle switches for load and tune controls
Target selector
Mode selector
Shutter position switches
RF Power adjust control
RF Power ON / OFF push button
Table bias
Forward power
Reflected power meter.
PERKIN ELMER 2400は、最新のスパッタリング技術を単一の使いやすいプラットフォームで組み合わせた工業用スパッタリング装置です。モジュラー設計と複数のプロセスを1つのプラットフォームで提供する2400は、大面積の基板にスパッタターゲットを産業用グレードのハイスループット蒸着を提供します。このシステムは革新的なビームニュートラルスパッタソースを備えており、異なる蒸着要件のために複数のスパッタモードに設定することができます。また、高収量プロセス制御システムを使用して、完璧な結果を保証します。このユニットは、複数のサンプルをサポートすることができ、長期にわたって信頼性の高いスパッタ源の動作を提供するように設計されています。PERKIN ELMER 2400は、プラナーマグネトロンスパッターチャックを搭載しており、大型コーティング基板上にスパッタリングする際の均一性を向上させます。この機械の設計は、均一で均一に制御されたスパッタリングプロセスのために基板の表面積を最適化します。このツールには、特定のスパッタのニーズに合わせて調整し、優れた結果を提供できるモジュラー平面マグネトロンも含まれています。2400はまた、自動化されたプロセストラッキングや、ユーザーがプロセスパラメータを監視および調整できるさまざまなソフトウェアパッケージなどの高度な機能とコントロールを備えています。さらに、アセットは、追加のシールドの必要性を排除するためにイオンを最小限に抑えるように設計されています。PERKIN ELMER 2400は、優れた性能、豊富な機能、信頼性の高い操作を提供する工業グレードのスパッタリングモデルです。モジュラー設計と複数のプロセス制御システムにより、大型コーティング基板をスパッタする際の均一性が向上します。この装置はまた、長時間にわたる信頼性の高いスパッタソース操作を提供するように設計されており、工業用グレードのスパッタータスクに最適です。
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