中古 PERKIN ELMER 2400 Series II #293798355 を販売中

PERKIN ELMER 2400 シリーズIIは、研究開発における薄膜蒸着用途向けに設計されたスパッタ装置です。金属コーティングからシリコーンウェーハのメタライゼーションまで、さまざまな設定可能なスパッタリングソースとアプリケーションのオプションを提供します。システムには、マルチディスプレイ、マルチターミナルオペレータパネルが装備されており、リアルタイムデータを提供し、すべてのユニット機能を制御します。このマシンは、スパッタリングプロセスパラメータを自動制御するための統合されたデジタルコントローラを使用して、バッチまたは連続動作のいずれかのために設計されています。2400 シリーズIIは強力なセラミック放電源で設計されており、最大0。2 nm/secの蒸着速度を提供します。合計4つのスパッタカソードアセンブリで、このツールは幅広い構成のさまざまなコーティング材料に構成することができます。このアセットは、構成可能なマスキングおよびウェーハセンタリングシステムにより、直径24インチまでの基板へのスパッタ蒸着をサポートします。システムチャンバーは、グラファイトゲッターとターボ分子ポンプを組み合わせて真空シールされています。チャンバー圧力はキャパシタンスマノメータを介して継続的に監視され、スパッタリングプロセス中の圧力を正確に制御できます。統合されたガス入口の特徴は沈殿室にアルゴンのようなガスを注入することを可能にします。このモデルは、さまざまなプロセス制御機能を可能にする統合機器ソフトウェアプラットフォームによってサポートされています。これは、重要なプロセスパラメータとテストパラメータをリアルタイムで監視するためのグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。レシピ作成やストレージなどの管理機能もサポートされています。PERKIN ELMER 2400 シリーズIIは、薄膜蒸着用途に優れた信頼性と性能を提供します。業界をリードするコンフィギュレーション性と高度なシステム機能を備えており、研究開発能力を最大限に引き出すための理想的な選択肢です。