中古 PERKIN ELMER 2400-8SA #98401 を販売中

PERKIN ELMER 2400-8SAスパッタリング装置は、さまざまな形状とサイズの基板上に材料の薄膜を堆積するように設計された先進的な装置です。このシステムは使いやすく、厳密に制御された環境と特別に設計されたコンポーネントにより、優れた結果をもたらすことができます。このユニットは、1E-8トーラー（1。3 x 10^-5 Pa）に有効な高真空室で設計されています。このチャンバーには、3つの独立したソース用の個々のプラズマ陰極ポートと、基板挿入用のポートが取り付けられています。陰極は、チタンタングステン合金から作られており、複数のシステムは、長い堆積期間のために統合することができます。OS-500極低温高真空ポンプを搭載しており、超薄膜から厚いものまでの堆積物に優れた高真空レベルを提供します。高出力スパッタリングターゲットソースによって生成される強い磁場は、基板表面に均一な粒子爆撃を確実にします。このツールには、優れたビームターゲット相互作用と均一なフィルム蒸着を提供する25kVイオン銃も装備されています。アセットのハイパフォーマンスデータモデルでは、基板温度や圧力、電流、電圧、蒸着速度などのパラメータを監視および調整できます。これにより、ユーザーは正確な蒸着仕様を達成し、フィルム特性を最適化することができます。さらに、この装置は追加のコンポーネントと統合して、マグネトロンスパッタリングや反応スパッタ蒸着など、さまざまなスパッタ蒸着プロセスを達成することができます。2400-8SAスパッタリングシステムは、薄膜やその他の材料を蒸着するための最先端のシステムの1つです。単位のパラメータおよび複数の部品の堅い制御はさまざまな厚さおよび指定のフィルムの沈殿を可能にし、ユーザーに等しくない正確さおよび精密を与えます。また、反応スパッタ蒸着、マグネトロンスパッタリングなどにも使用できるため、非常に汎用性が高く、様々な蒸着プロセスに適しています。